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上海昊量光電設(shè)備有限公司
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皮米級(jí)距離測(cè)量（可試用）昊量光電推出的皮米級(jí)距離干涉測(cè)量?jī)xquDIS是目前市面上同類(lèi)別可以測(cè)量皮米級(jí)距離的干涉儀
皮米級(jí)距離測(cè)量（可試用）
昊量光電推出的皮米級(jí)距離干涉測(cè)量?jī)xquDIS是目前市面上同類(lèi)別可以測(cè)量皮米級(jí)距離的干涉儀?；谄涞臏y(cè)量原理，相對(duì)距離的重復(fù)精度達(dá)到了的50皮米。距離也可以達(dá)到20m。下面我來(lái)詳細(xì)介紹一下quDIS距離測(cè)量的基本原理：
一.“干涉光譜學(xué)"-頻率分析和相對(duì)距離
傳統(tǒng)的干涉測(cè)距法都是待測(cè)目標(biāo)移動(dòng)產(chǎn)生的和參考光路不同的光程差，產(chǎn)生干涉現(xiàn)象。而除了光路長(zhǎng)度的改變，在恒定路徑下激光波長(zhǎng)的改變也會(huì)導(dǎo)致信號(hào)的干涉調(diào)制。通過(guò)激光器控制掃描波長(zhǎng)，控制引入多個(gè)波長(zhǎng)變化，這樣避免了靜態(tài)狀態(tài)下的相對(duì)誤差。這種方法稱(chēng)為“干涉光譜學(xué)"。
德國(guó)qutools公司生產(chǎn)的皮米級(jí)位移干涉測(cè)量?jī)xquDIS是基于法-珀干涉而設(shè)計(jì)的。較之傳統(tǒng)的設(shè)計(jì)，創(chuàng)新性的增加了飽和吸收氣室（GC）單元，根據(jù)其氣體的吸收光譜可以用來(lái)進(jìn)行精確的波長(zhǎng)控制。通過(guò)快速的上下掃描改變激光波長(zhǎng)使波長(zhǎng)變化滿(mǎn)足 Δλ/Δt >>Δx/Δt 。內(nèi)部光學(xué)參考腔將波長(zhǎng)變化穩(wěn)定為線性波長(zhǎng)掃描。這種測(cè)量方法不受對(duì)比度和檢測(cè)信號(hào)強(qiáng)度的影響。其他方法僅在恒定波長(zhǎng)下監(jiān)測(cè)強(qiáng)度（arcsin）或偏差（arctan），從而導(dǎo)致典型的周期性誤差存在。
的法珀腔+飽和吸收氣室構(gòu)造 波長(zhǎng)的線性變化的引入在此構(gòu)造下使得距離的測(cè)量成為可能！
二.法珀參考腔-激光穩(wěn)頻和距離測(cè)量
“干涉光譜法"與飽和吸收室(GC)結(jié)合使用也是可以實(shí)現(xiàn)距離的測(cè)量。
通過(guò)將可調(diào)激光器的頻率鎖定到F-P干涉儀的的諧振頻率上，將干涉儀的位移測(cè)量轉(zhuǎn)換為頻率變化的測(cè)量。當(dāng)F-P腔長(zhǎng)在變化時(shí)，其諧振峰的頻率也在發(fā)生變化，通過(guò)測(cè)量初始腔長(zhǎng)，初始頻率和頻率變化，就可實(shí)現(xiàn)測(cè)量腔長(zhǎng)?？烧{(diào)激光器的頻率變化可通過(guò)與一個(gè)穩(wěn)頻激光器進(jìn)行拍頻來(lái)測(cè)量。因這種方式將位移變化轉(zhuǎn)換為了頻率變化，只要保證頻率變化為線性變化，就可以避免干涉儀的非線性誤差對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。同時(shí)其理論分辨率低可達(dá)到1pm。
距離測(cè)量方式就是基于上文中提到的“拍頻"的方式，通過(guò)將內(nèi)部參考腔鎖頻，使其頻率和腔長(zhǎng)保持恒定，這樣，通過(guò)測(cè)量頻率變化，就可以知道實(shí)時(shí)的腔長(zhǎng)，也就是距離。
干涉?zhèn)鞲蓄^
激光束的成型是通過(guò)不同的傳感器頭來(lái)實(shí)現(xiàn)的，根據(jù)反射目標(biāo)的不同，不同的應(yīng)用都需要不同的準(zhǔn)直、聚焦和光束剖面約束。quDIS的傳感器頭均基于設(shè)計(jì)。quDIS為常規(guī)情況下的使用提供標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)直儀和定焦傳感頭，同時(shí)根據(jù)具體的需要以及惡劣環(huán)境下的應(yīng)用，也設(shè)計(jì)了響應(yīng)的特殊傳感頭。
用于測(cè)量高溫漂移物體的傳感器頭的設(shè)計(jì) 鎳鐵合金制造的低熱膨脹系數(shù)準(zhǔn)直頭
環(huán)境測(cè)試模塊（AMU）
環(huán)境測(cè)試模塊（AMU）設(shè)計(jì)用于補(bǔ)償由溫度T、壓力p和相對(duì)濕度rH波動(dòng)引起的折射率變化，總體精度為1ppm。
皮米級(jí)距離測(cè)量干涉儀產(chǎn)品特點(diǎn)：
多維度多通道位移干涉器，操作簡(jiǎn)單，即插即用
相對(duì)距離和距離測(cè)量
完善的全套系統(tǒng)配置
實(shí)時(shí)輸出數(shù)字化圖像
針對(duì)不同應(yīng)用提供各種傳感接頭及反射模塊組合解決方案
長(zhǎng)期使用保證穩(wěn)定性
兼容真空與各種惡劣環(huán)境
皮米級(jí)距離測(cè)量干涉儀優(yōu)勢(shì)：
距離高精度測(cè)量！
不存在非線性及周期性誤差！
相對(duì)距離信號(hào)穩(wěn)定性<>
工作距離zui大20m（與傳感頭相關(guān)）
目標(biāo)zui大速度3m/s
三個(gè)傳感接口，可實(shí)現(xiàn)多設(shè)備同步
探測(cè)器分辨率達(dá)到1pm
皮米級(jí)距離測(cè)量干涉儀應(yīng)用領(lǐng)域：
極限環(huán)境下振動(dòng)分析
緩慢漂移及熱膨脹檢測(cè)
精密設(shè)備位置控制
納米級(jí)位移測(cè)量
層狀結(jié)構(gòu)中間隙和邊緣的測(cè)量
位移和振動(dòng)精度評(píng)估
皮米精度位置測(cè)量?jī)x參數(shù)列表：
| 干涉儀 | 傳感頭 | ||
| 光源 | DFB激光器 | 分辨率 | 1pm |
| 功率 | <> | 相對(duì)距離穩(wěn)定性 | <> |
| 波長(zhǎng) | 1535nm | 距離精度 | <2nm> |
| 線寬 | <> | 帶寬 | 25kHz |
| 傳感器通道 | 3 | 工作距離 | 20—5000mm |
| 光纖輸入端口 | FC Narrow-Key-Slot | 目標(biāo)速度 | <3m> |
| Mating Sleeves | 傳感頭 | 真空 | |
| 同步 | 多臺(tái)設(shè)備同步 | ||
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