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激光干涉儀DynaFiz

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更新時(shí)間:2022-08-28 10:10:24瀏覽次數(shù):520次

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激光干涉儀DynaFiz

詳細(xì)介紹

  美國(guó)ZYGO激光干涉儀DynaFiz

  新型的ZYGO DynaFiz激光干涉儀是特別設(shè)計(jì)為在有空氣湍流和極點(diǎn)振動(dòng)的環(huán)境中進(jìn)行精確的光學(xué)計(jì)量的優(yōu)化的光學(xué)儀器。DynaFiz 光學(xué)系統(tǒng)的長(zhǎng)壽命,高功率氦氖激光源具有高的光效率,使得相機(jī)的高速快門(mén)能夠“凝結(jié)"振動(dòng)。這種動(dòng)態(tài)才能提供了 在惡劣的環(huán)境中,傳統(tǒng)的時(shí)刻相移技能不可能完成的可靠的測(cè)量。

  測(cè)長(zhǎng)機(jī)系統(tǒng):

  ◆測(cè)量功用:精密測(cè)量各種反射面和光學(xué)體系的表面面形、精密測(cè)量光學(xué)體系的傳輸波前

  ◆測(cè)量技能:DynaPhase動(dòng)態(tài)測(cè)量技能;可選形式:機(jī)械相移測(cè)量(PSI)

  ◆校準(zhǔn)體系:

  ◆動(dòng)態(tài)形式:DyanaPhase 對(duì)準(zhǔn)向?qū)?zhǔn);

  ◆移相形式:快速條紋采樣體系(QFAS) (雙光點(diǎn)定坐落十字線)

  ◆對(duì)準(zhǔn)視場(chǎng)范圍FOV :±3°

  ◆測(cè)量光束直徑: 4″(102mm)

  ◆光學(xué)中心線 :4.25″(108mm)

  ◆激光光源:大功率穩(wěn)定氦-氖激光,IIIa 級(jí)

  ◆波長(zhǎng): 633 nm

  ◆頻率穩(wěn)定度: < 0.0001 nm

  ◆相干長(zhǎng)度 :>100m

  ◆成像分辨率:1200 x 1200 像素

  ◆幀速:50Hz(600 x 600 像素:82Hz)

  ◆數(shù)據(jù)形式:10位

  ◆擴(kuò)大:電控塔臺(tái)切換,1X,1.7X,3X

  ◆偏振:挨近圓偏振(1.2:1或者更好)

  ◆光曈調(diào)焦范圍: ±2m

  ◆無(wú)線遙控:聚焦,擴(kuò)大,校準(zhǔn)操控;遙控范圍:15m

  ◆計(jì)算機(jī)和軟件:高性能DELL PC , Windows7 , 64 位, ZYGO MetroproTM X軟件

  ◆安裝結(jié)構(gòu):水平臥式或垂直立式

  ◆附件:參考ZYGO 激光干涉儀附件向?qū)募?,OMP-0463

  ◆尺度(長(zhǎng)x寬x高) :60 x 31 x 34 cm (23.7 x 12.1 x 13.4 in.);帶移相器長(zhǎng)度增加9cm(3.6in.)

  ◆重量 :≤80lb(36 Kg);帶移相器增加10lb(5kg)

  ◆電源 :100-240VAC,50/60Hz

  ◆保修期 :2年

  技能參數(shù):

  ◆RMS重復(fù)性:< 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)

  ◆RMS波前重復(fù)性:

  動(dòng)態(tài)形式: < 1.0 nm,λ/600 (mean + 2σ)

  移相形式: < 0.25 nm,λ/2500 (mean + 2σ)

  ◆像素峰值偏差:

  動(dòng)態(tài)形式:< 2.0 nm, λ/300 (99.5th %)

  移相形式: < 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %)

  ◆條紋分辨率:

  動(dòng)態(tài)形式:250 條紋(每種擴(kuò)大倍率)

  移相形式:500條紋(每種擴(kuò)大倍率)

  ◆曝光時(shí)刻 :12usec(zui?。?/p>

  ◆數(shù)據(jù)采樣速度: ≤82幅數(shù)據(jù)圖像/秒

  ◆LivePhaseTM :Zernike擬合剖析的實(shí)時(shí)相位信息

  ◆相位影像 記錄≤82幅/秒過(guò)程中的信息,可存儲(chǔ)為AVI格式文件和保留原始數(shù)據(jù)文件

  ◆外部影像:觸發(fā)器 TTL信號(hào)


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