
半導體全自動單臂式超聲波清洗烘干設備
超聲波清洗1(40khz)-超聲波清洗2(40khz)-旋流漂洗—超聲波漂洗--熱風干燥。設備主要部件由,單臂機械手,伺服橫移驅動系統(tǒng),伺服提升驅動系統(tǒng),氣動手指抓取系統(tǒng),氣動上下料系統(tǒng),循環(huán)過濾系統(tǒng),熱風干燥系統(tǒng),智能PLC控制系統(tǒng)等組成,超純水制取系統(tǒng)等組成。該設備的特點是清潔度高,自動化程度高,解決了客戶清洗殘留嚴重,合格率低的問題。
可根據(jù)產品工藝制定清洗方案及設備