JEM-ARM200F NEOARM 原子級(jí)分辨率透射電子顯微鏡
NEOARM” 標(biāo)配了日本電子獨(dú)自開(kāi)發(fā)的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)–old-FEG）和全新的高階球差校正器（ASCOR）。無(wú)論是在200kV的高加速電壓還是在30kV的低加速電壓下，均能實(shí)現(xiàn)原子級(jí)分辨率的觀察與分析。同時(shí)還配備了自動(dòng)像差校正系統(tǒng)，可以自動(dòng)進(jìn)行快速準(zhǔn)確的像差校正。新STEM成像技術(shù)（e-ABF法）可以更加簡(jiǎn)便地觀察到含有輕元素樣品的高清晰（襯度）圖像。
原子級(jí)分辨率透射電子顯微鏡產(chǎn)品規(guī)格：
分辨率*1 | STEM HAADF 圖像: 70 pm (200 kV)、100 pm (80 kV)、160 pm (30 kV) |
電子槍 | 標(biāo)配冷場(chǎng)電子槍 |
球差校正器 | STEM: NEO ASCOR HOAC*2、TEM: CETCOR with DSS*3 |
校正器自動(dòng)合軸系統(tǒng) | 日本電子NEO JEOL COSMO™ 自動(dòng)合軸系統(tǒng)、Ad-hock合軸（SIAM） |
加速電壓 | 30 ～ 200 kV（ 標(biāo)配30、80、200 kV；選配60、120 kV） |
無(wú)磁場(chǎng)模式 | 標(biāo)配洛倫茲模式、放大倍數(shù) ( ×50 ～ 80 k熒光屏為參考面) |
樣品移動(dòng)系統(tǒng) | X,Y,Z 軸高精度機(jī)械驅(qū)動(dòng)、標(biāo)配超高精度壓電陶瓷驅(qū)動(dòng) |
操作類(lèi)型 | RDS*4 操作模式*4 |
*1 裝配UHR(超高分辨率)極靴與STEM/TEM球差校正器
*2 HOAC(高階球差校正器)
*3 DSS(DeScan系統(tǒng))
*4 RDS(安裝室分隔式)
主要特點(diǎn)：
◇ 球差校正器ASCOR（Advanced STEM Corrector）
“NEOARM”配備的新型球差校正器ASCOR能夠校正高階像差（即6重像散，目前阻礙透射電鏡分辨率進(jìn)一步提高的大障礙。），ASCOR和Cold-FEG的完美組合實(shí)現(xiàn)了從高加速電壓到低加速電壓下的高分辨率。
◇ 自動(dòng)像差校正軟件JEOL COSMO™（Corrector System Module）
JEOL COSMO™采用了全新像差校正算法(SRAM：Segmented Ronchigram Auto-correlation function Matrix)，校正像差不需要交換標(biāo)準(zhǔn)樣品也可以快速精確地校正至高階像差。與采用傳統(tǒng)校正算法的系統(tǒng)相比，JEOL CMSMO™能夠高速處理數(shù)據(jù)，并且使操作進(jìn)一步自動(dòng)化。因此，客戶(hù)在工作流程中可以簡(jiǎn)便高效地進(jìn)行高分辨率觀察及各種元素分析。
◇ 新ABF（Annular Bright Field）檢測(cè)器系統(tǒng)
ABF檢測(cè)器作為高分辨觀察輕元素的有效手段已被廣泛使用。“NEOARM”支持能增強(qiáng)輕元素襯度的新ABF成像技術(shù)（e-ABF：enhanced ABF），實(shí)現(xiàn)了對(duì)含有輕元素樣品的原子級(jí)結(jié)構(gòu)的觀察。
◇ Perfect sight檢測(cè)器
STEM系統(tǒng)標(biāo)配的Perfect sight檢測(cè)器作為混合檢測(cè)器，采用了由不同材料制成的閃爍器。該檢測(cè)器具有的寬電壓適應(yīng)性，不依賴(lài)于加速電壓始終都可以獲得高襯度的STEM圖像，并可用于定量STEM的分析研究工作。
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