【產(chǎn)品簡介】
Dimension® Icon ™原子力顯微鏡以其優(yōu)秀的圖像分辨率，與布魯克*的電子掃描算法相結合，顯著提升了測量速度與成像質量。Dimension® 系列大樣品臺原子力顯微鏡始終處于行業(yè)地位，配置溫度補償位置傳感器，實現(xiàn)了
Z 軸亞埃級和 XY 軸埃級的低噪音水平，將其應用在 90 微米掃描范圍的大樣品臺體系上，使用效果甚至優(yōu)于高分辨小樣品臺的開環(huán)噪音水平。全新設計的 XYZ 閉環(huán)掃描頭，即使在較高的掃描速度工作時，也不會損壞圖像質量，實現(xiàn)了更大的數(shù)據(jù)采集輸出量，是研發(fā)新技術強大的助手。
【主要應用】
1、 主要用于材料納米級表面形貌、粗糙度的測量，同時還可以測試納米材料的表面機械性能、電學、磁學和電化學等物理特性等；
2、 廣泛應用于半導體、納米材料、通訊、生物學、數(shù)據(jù)儲存、食品、化學、地質、能源、環(huán)境等領域。
【主要參數(shù)】
XY 方向掃描范圍 | 90μm x 90μm（典型值），85μm（最小值） |
Z 方向掃描范圍 | 10μm（典型值）， 9.5μm（最小值） |
縱向噪音水平 | <30pm RMS 值（在合適的環(huán)境，典型的成像帶寬條件下 ( 可達 625Hz)） |
XY 方向閉環(huán)噪音水平 | ≤ 0.15nm RMS 值（在典型的成像帶寬條件下 ( 可達 625Hz)） |
XY 方向開環(huán)噪音水平 | ≤ 0.1nm RMS 值（在典型的成像帶寬條件下 ( 可達 625Hz)） |
Z 方向閉環(huán)噪音水平 | 35pm RMS 值（在合適的環(huán)境，典型的成像帶寬條件下 ( 可達 625Hz) 50pm RMS 值，力曲線帶寬 (0.1Hz 到 5kHz) |
XYZ 三方向的非線性 | <0.5% （典型值） |
樣品尺寸和固定方式 | 210mm 直徑，真空吸附，≤ 15mm 厚 |
180mm × 150mm 可觀測區(qū)域； 單向 2μm 重復性；雙向 3μm 重復性 | |
光學系統(tǒng) | 5 百萬像素數(shù)字攝像頭；180μm 至 1465μm 可視區(qū)域 ; 數(shù)字化縮放，馬達 驅動聚焦 |
控制器 | NanoScope V |
防震臺 | 可選氣動式隔音防震平臺 |
隔音體系 | 可工作在高達 85DBC 連續(xù)噪音環(huán)境中 |
環(huán)保在線