【產(chǎn)品簡(jiǎn)介】
centrotherm c.HORICOO 300臥式批處理系統(tǒng)是世界上首先用于*的高產(chǎn)能的 300 mm晶圓加工平臺(tái)。 設(shè)備平臺(tái)由兩個(gè)各含4層爐管的系統(tǒng)及一個(gè)自動(dòng)化裝置裝載系統(tǒng)組成。加熱系統(tǒng)包括5個(gè)雙區(qū)加熱單元，提供centrotherm出眾的溫度均勻性以及理想穩(wěn)定的工藝。 centrotherm Hydrox系統(tǒng)同時(shí)支持干氧及濕氧工藝。支持高達(dá)1200°C高溫工藝，其氧化和Drive-in工藝可促進(jìn)研發(fā)更具有低界面陷阱密度（Dit）和高溝道遷移率的氧化物層。
【適用工藝】
·退火
·擴(kuò)散
·氧化
·LPCVD
·PECVD
環(huán)保在線