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產(chǎn)品型號
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更新時(shí)間：2024-04-27 07:06:46瀏覽次數(shù)：307次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 環(huán)保在線產(chǎn)品簡介：
EVG SmartView NT是一款全自動量產(chǎn)型鍵合對準(zhǔn)設(shè)備，適用于三維互連、晶圓級封裝、高產(chǎn)量MEMS，可以作為模塊集成在EVG560鍵合設(shè)備或者GEMINI平臺。
主要特點(diǎn)及參數(shù)：
·支持12英寸（300mm）晶圓
·支持2層或3層晶圓堆疊對準(zhǔn)
·支持：面對面對準(zhǔn)、背面對準(zhǔn)、紅外對準(zhǔn)和透明對準(zhǔn)
·可升級至自動對準(zhǔn)
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