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北京亞科晨旭科技有限公司等)

EVG 101涂膠/噴膠/勻膠系統(tǒng)

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更新時間:2024-04-27 07:12:34瀏覽次數(shù):186次

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EVG 101是一款適合于研發(fā)的單腔晶圓涂膠顯影設(shè)備,可用于噴膠、旋涂和顯影,可在三維結(jié)構(gòu)晶圓上完成光刻膠或聚合物的涂覆,并保持高均勻性。

產(chǎn)品簡介:

EVG 101是一款適合于研發(fā)的單腔晶圓涂膠顯影設(shè)備,可用于噴膠、旋涂和顯影,可在三維結(jié)構(gòu)晶圓上完成光刻膠或聚合物的涂覆,并保持高均勻性。

 

主要特點及參數(shù):

·可適用于12寸(300mm)晶圓

·手動裝片,自動噴涂/旋涂,自動清洗腔室內(nèi)殘膠

·適用光刻膠范圍廣泛,粘度可達52000cp

·基片轉(zhuǎn)速:10000r/min

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