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當(dāng)前位置：亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等）>>納米壓印光刻系統(tǒng)>> EVG 770納米壓印系統(tǒng)
| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品簡介：
EVG770是一款用于分步和重復(fù)工作的紫外納米壓印設(shè)備，能有效在襯底上制作復(fù)雜的結(jié)構(gòu)。通常用于晶圓級光學(xué)的制造和EVG SmartNIL工藝所需的母版。
主要特點及參數(shù)：
·支持12英寸（300mm）晶圓
·分辨率可達50nm（取決于模版和工藝條件）
·可選cassette-to-cassette上下料
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