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更新時(shí)間：2024-04-27 07:10:17瀏覽次數(shù)：136次
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EVG770是一款用于分步和重復(fù)工作的紫外納米壓印設(shè)備，能有效在襯底上制作復(fù)雜的結(jié)構(gòu)。通常用于晶圓級(jí)光學(xué)的制造和EVG SmartNIL工藝所需的母版。
主要特點(diǎn)及參數(shù)：
·支持12英寸（300mm）晶圓
·分辨率可達(dá)50nm（取決于模版和工藝條件）
·可選cassette-to-cassette上下料
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