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| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品簡介：
EVG 610（NIL）是一款基于EVG610光刻機的紫外納米壓印設(shè)備，可針對壓印、光刻、對準(zhǔn)功能進(jìn)行快速轉(zhuǎn)換。
主要特點及參數(shù)：
·支持6英寸（150mm）晶圓
·分辨率可達(dá)40nm（取決于模版和工藝條件）
·支持汞燈或的UV-LED光源
·可選配功能：
鍵合對準(zhǔn)
紅外對準(zhǔn)
納米壓印光刻（NIL）
微接觸印刷
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