108 離子濺射儀

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更新時間：2021-07-29 22:00:45瀏覽次數(shù)：331次

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廣州競贏化工科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

108是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng)，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜

詳細(xì)介紹

108是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng)，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。

主要特性

技術(shù)參數(shù)

濺射系統(tǒng)
樣品室大小	直徑120mm x 120mm 高
靶材	標(biāo)配黃金Au靶，Pt等其它靶材可選大?。褐睆?/span>57mm x 0.1mm厚
樣品臺	可以裝載12個SEM樣品座，高度可調(diào)范圍為50mm
濺射控制	微處理器控制，安全互鎖
濺射電流	5~45mA可調(diào)
濺射頭	低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩
計量表	真空： Atm - 0.001mbar，電流：0~50mA
厚度監(jiān)控 (選件)	使用MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀（選件）精確測定所鍍膜的厚度
控制方法	具有氣體換氣和泄氣功能，帶有“暫停”控制的數(shù)字定時器（5－300s）
真空系統(tǒng)
真空泵	2級直連式高速真空泵
抽氣速率	3.0 m3/小時，真空度到 0.1mb所需時間30秒.
極限真空	5 x 10^-3mba
桌上系統(tǒng)	真空泵可置于抗震臺上，全金屬集成耦合系統(tǒng)