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108 離子濺射儀

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更新時間:2021-07-29 22:00:45瀏覽次數(shù):331次

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產(chǎn)品簡介

108是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng),特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜

詳細(xì)介紹

108是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng),特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。

主要特性

  • 通過高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過程,避免樣品表面受損。
  • 操作容易快捷,控制的參數(shù)包括放氣以及氬氣換氣控制。
  • 可用MTM-10高分辨膜厚控制儀(選件)精確測定所鍍膜的厚度。
  • 數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和的鍍膜效果。
  • 可使用多種金屬靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶為標(biāo)配),靶材更換快速方便。

技術(shù)參數(shù)

濺射系統(tǒng)

樣品室大小

直徑120mm x 120mm

靶材

標(biāo)配黃金Au靶,Pt等其它靶材可選

大?。褐睆?/span>57mm x 0.1mm

樣品臺

可以裝載12SEM樣品座,高度可調(diào)范圍為50mm

濺射控制

微處理器控制,安全互鎖

濺射電流

5~45mA可調(diào)

濺射頭

低電壓平面磁控管,靶材更換快速,環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩

計量表

真空: Atm - 0.001mbar,電流:0~50mA

厚度監(jiān)控
(
選件)

使用MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀(選件)精確測定所鍍膜的厚度

控制方法

具有氣體換氣和泄氣功能,帶有“暫停”控制的數(shù)字定時器(5300s

真空系統(tǒng)

真空泵

2級直連式高速真空泵

抽氣速率

3.0 m3/小時 ,真空度到 0.1mb所需時間30.

極限真空

5 x 10-3mba

桌上系統(tǒng)

真空泵可置于抗震臺上,全金屬集成耦合系統(tǒng)

銅網(wǎng)鍍碳制成負(fù)染色蛋白質(zhì)樣品案例

關(guān)鍵詞:真空泵
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