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離子濺射儀

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更新時(shí)間:2022-10-31 15:47:54瀏覽次數(shù):235次

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所在地區(qū):

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品介紹:LZ-Ⅱ離子濺射儀鍍膜基本原理是基于荷能正離子轟擊靶電極產(chǎn)生濺射現(xiàn)象,靶被濺射出來的中性原子沉淀于基臺(tái)上樣品表面成膜,形成導(dǎo)電層。

詳細(xì)介紹

LZ-Ⅱ離子濺射儀鍍膜基本原理是基于荷能正離子轟擊靶電極產(chǎn)生濺射現(xiàn)象,靶被濺射出來的中性原子沉淀于基臺(tái)上樣品表面成膜,形成導(dǎo)電層。

用途:

  LZ-Ⅱ離子濺射儀是一種小型鍍膜裝置,可用作掃描電鏡、電子探針等儀器進(jìn)行試樣制備,是開展教學(xué)科研實(shí)驗(yàn)的儀器。

  鍍膜原理與結(jié)構(gòu):

  LZ-Ⅱ離子濺射儀鍍膜基本原理是基于荷能正離子轟擊靶電極產(chǎn)生濺射現(xiàn)象,靶被濺射出來的中性原子沉淀于基臺(tái)上樣品表面成膜,形成導(dǎo)電層。

  該離子濺射儀為二極結(jié)構(gòu),以基臺(tái)和樣品架為正電極與儀器外殼相連并接地,濺射靶電極為負(fù)電極(加負(fù)高壓),它們被安裝在玻璃罩的真空腔內(nèi),當(dāng)腔內(nèi)達(dá)到一定真空度,在負(fù)高壓的作用下發(fā)生輝光放電產(chǎn)生等離子體,其中正離子在電場(chǎng)加速下,獲得足夠能量轟擊負(fù)電極上的靶面,靶面被濺射原子沉淀于基臺(tái)的樣品表面形成導(dǎo)電膜,以供上述儀器分析。

  技術(shù)參數(shù):

  1、型號(hào):

  1、真空腔:¢150×12 硼酸硅質(zhì)玻璃

  2、濺射靶尺寸:¢55×0.3

  3、基臺(tái): ¢50 6-8個(gè)樣品

  4、極間距調(diào)節(jié)范圍20-40mm

  5、濺射電壓: -2000V-0 DC連續(xù)可調(diào)

  濺射電流0-30 mA

  6、定時(shí)器:0-99分?jǐn)?shù)字顯示

  7、真空測(cè)量:1×105-1.0×10-1pa 數(shù)字顯示,單片機(jī)控制,數(shù)字顯示,具有真空保護(hù)鎖設(shè)置。

  8、控制系統(tǒng):?jiǎn)纹瑱C(jī)控制,完成真空自動(dòng)測(cè)量、顯示、定時(shí)器倒計(jì)時(shí)功能以及自動(dòng)完成鍍膜程序。

  9、真空泵:2L/S二級(jí)旋片式直聯(lián)機(jī)械泵,極限真空度6×10-1pa

  10、充氣閥:金屬微調(diào)針型閥 保護(hù)氣體 99.9%純度氬氣(推薦)

  11、外形尺寸:長(zhǎng)354mm ×高216mm ×深340mm

  12、電源:AC 220V 50HZ

  特點(diǎn):

  1、人性化設(shè)計(jì),整體性好;

  2、單片機(jī)控制,操作方便簡(jiǎn)潔;

  3、用戶可根據(jù)實(shí)驗(yàn)需要自由設(shè)置濺射操作的工藝參數(shù),使用靈活、方便;

  4、儀器有真空鎖保護(hù)設(shè)置,使儀器可靠性安全性好;

  5、本產(chǎn)品已獲得國家,號(hào):.0




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