大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測(cè)量。比如:氧化物,氮化物,光刻膠,高分子聚合物,半導(dǎo)體(硅,單晶硅,多晶硅),半導(dǎo)體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂層(碳化硅,類(lèi)金剛石炭),聚合物涂層(聚對(duì)二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)
Map薄膜厚度測(cè)繪儀用于測(cè)量厚度分布,評(píng)價(jià)薄膜厚度的均一性,可與所有MProble系列的薄膜測(cè)厚儀聯(lián)用。
厚度測(cè)繪臺(tái)包含:
1. XY電動(dòng)載物臺(tái),行程:150mm/200mm/300mm
2. 19英寸鋁制底座
3. 探頭適配器
4. 載物臺(tái)控制器
5. 厚度拼圖軟件

薄膜厚度分布圖(厚度以顏色標(biāo)示):

厚度測(cè)繪軟件:
