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RTP快速爐高溫?zé)Y(jié)爐

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更新時間：2023-01-19 09:48:56瀏覽次數(shù)：451次

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蘇州哈騰科技有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

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產(chǎn)品簡介

設(shè)備特點1.升降溫速度快，升溫采用環(huán)形紅外短波加熱器，升溫速率可達(dá)200℃/s，降溫時通過將爐膛退出，實現(xiàn)對產(chǎn)品的快速降溫

詳細(xì)介紹

設(shè)備特點

1.升降溫速度快，升溫采用環(huán)形紅外短波加熱器，升溫速率可達(dá)200℃/s，降溫時通過將爐膛退出，實現(xiàn)對產(chǎn)品的快速降溫；
2.測溫采用精準(zhǔn)的S型金屬熱電偶直接測量產(chǎn)品表面，使加熱工件的溫度更加準(zhǔn)確；
3.控制數(shù)學(xué)控制數(shù)學(xué)模型采用*的PID自學(xué)習(xí)模糊雙閉環(huán)控制模式，使控溫精度在快速升溫的恒溫狀態(tài)仍能保持在±3℃；
4.功能多樣化，既可以用于材料的快速升降溫退火，也可用于化學(xué)氣相沉積（CVD）法，在鎳或銅箔上制備石墨烯的制備。

設(shè)備參數(shù)

電源	AC380~400V，50HZ（60Hz定制）
功率	15Kw
額定溫度	1100℃
使用溫度	≤1000℃
反應(yīng)腔室尺寸	Φ100X200
溫場均勻性	±3℃
溫度控制模式	智能模糊全閉環(huán)PID控制
傳感器內(nèi)型	S型單鉑銠
升溫速率	200℃/s
降溫速率	1～200℃/s（通氮氣，速率更快）
操作方式	觸摸屏控制
真空系統(tǒng)	選配
進(jìn)出氣接口	Φ6卡套
本產(chǎn)品接受非標(biāo)定制