型號:VTF-1200X-TSSG-III
立式三溫區(qū)管式爐 | ? 立式三溫區(qū)管式爐 ? 工作電壓:AC220V 單相 ? 功率: 5KW ? 三個加熱區(qū): 150mm+300mm+150mm ? 總溫區(qū)長度:600mm ? 工作溫度: 1200°C(<1hr) ? 連續(xù)工作溫度: 1100°C ? 三個溫區(qū)都采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可程序控溫,分別由3個獨立的溫控系統(tǒng)控制 ? 用戶需要探索所長晶體最合適的溫度梯度 ? 調(diào)節(jié)三個加熱區(qū)的溫度,來形成不同的溫度梯度 ? 所配石英管尺寸 :130mm O.D x 120mm I.D x 600mm L (用于保護(hù)電阻加熱絲防止晶體生長過程中的腐蝕性揮發(fā)物,對電阻絲的腐蝕) ? 在上部爐膛處開有一個Φ25mm的斜觀察孔,用于在晶體生長過程中對籽晶和晶體液面進(jìn)行觀察。
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視頻 |
操作視頻 |
溫控系統(tǒng) | ? 采用三塊歐陸儀表Eurotherm控制溫度,控溫精度可達(dá)±0.1℃ ? 采用PID方式控溫,可設(shè)置28段升降溫程序 ? 配置3根Ω鎧裝K型熱電偶
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籽晶桿固定件和坩堝 |
? 標(biāo)配有1套籽晶桿固定件,不銹鋼材質(zhì),用于連戶生長晶體所用的籽晶桿; ? 可選配Φ80*80mm的銥金坩堝(需要單獨付費);
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提拉機(jī)構(gòu)控制系統(tǒng) |
一、標(biāo)準(zhǔn)配置采用步進(jìn)電機(jī)系統(tǒng) ? 采用6"L x 4"W的觸摸屏來控制提拉機(jī)構(gòu)的升降和旋轉(zhuǎn) ? 提拉速度:0.8-50mm/h ? 提拉桿轉(zhuǎn)速:0.1-23r/min ? 快速升降速度:40mm/min 二、可選配采用伺服電機(jī)系統(tǒng) (提拉速度更為均勻穩(wěn)定,改善單晶生長質(zhì)量) ? 提拉速度:0.8-50mm/h ? 提拉桿轉(zhuǎn)速:0.1-23r/min ? 快速升降速度:40mm/min |
其他選配功能 | ? 上部提拉密封系統(tǒng),采用真空波紋管密封,可以實現(xiàn)在真空密封環(huán)境下進(jìn)行提拉法生長晶體; ? 下部稱重系統(tǒng),采用下稱重方式,可以實現(xiàn)對生長晶體的自動精確控制。
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產(chǎn)品外形尺寸 | ? 1000mm(L) x 630mm(W) x 2260mm(H)
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溫度校準(zhǔn)系統(tǒng) | ? 標(biāo)配K型熱電偶溫度校準(zhǔn)系統(tǒng),可插入爐膛內(nèi)部進(jìn)行溫度梯度的測定
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質(zhì)量認(rèn)證 | ? CE認(rèn)證 |
質(zhì)保 | ? 一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不包含石英管,密封圈,加熱元件) |
凈重 | ? 200kg |