特點(diǎn)
· 低壓等離子系統(tǒng)，用于不同材料表面的處理
· 配置自動(dòng)/手動(dòng)模式，實(shí)現(xiàn)控制高機(jī)能
· 中型尺寸腔體可處理多種樣品
· 適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用
技術(shù)規(guī)格：
型號(hào) | NANO | NANO PCCE | |||
控制系統(tǒng) | 手動(dòng)控制 | PCCE 控制系統(tǒng) | |||
工藝氣路 | 雙路或三路氣體 | ||||
工藝氣體 | O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等非腐蝕性氣體或者CF4 、SF6等腐蝕性氣體 | ||||
單體導(dǎo)入 | H2O，親疏水涂層等單體（選配） | ||||
流量計(jì) | 針閥流量計(jì)（防腐蝕） | MFC流量計(jì)（防腐蝕） | |||
真空 腔體 | 材質(zhì) | 高硼硅玻璃/石英 蓋子門(mén)/鉸鏈門(mén)帶觀察窗 | 不銹鋼 蓋子門(mén)/鉸鏈門(mén)帶觀察窗 | 鋁合金腔體 鉸鏈門(mén) | |
圓形腔體內(nèi)尺寸(Φ×D)mm | 240×400(600) *1 | 267×420（600）*1mm | — | ||
方形腔體內(nèi)尺寸 （W×D×H）mm | — | 240×420（600）*1×240mm | 240×420（600）*1×240 | ||
容積 | 18L~27L | 24L~34L | 24L~34L | ||
電極 | 360度外置環(huán)繞電極 | 平行平板電極 | |||
發(fā)生器*
| 100 kHz 0-500W 80 kHz 0-1000W 13.56 MHz 0-100W 或者0-300W 或者 0-600W 2.45 GHz 0-600W | ||||
真空壓力計(jì) | 指針式壓力計(jì) | 皮拉尼數(shù)字式壓力計(jì) | |||
計(jì)時(shí)器 | 模擬數(shù)字式 | 數(shù)字式 | |||
托盤(pán) | 高硼硅玻璃（石英選配），不銹鋼 | ||||
外形尺寸（WXDxH）mm | 560x600-750x600-860mm | ||||
電源 | AC220V 50Hz 10A | ||||
真空泵 | 排氣速度不小于16m3/H | ||||
環(huán)保在線