技術(shù)應(yīng)用鏈接:
特點(diǎn)：
· 用于不同材料表面的處理
· 手動(dòng)模式
· 經(jīng)濟(jì)型等離子清洗機(jī)，小型腔體
· 適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用
· 操作簡單易使用
規(guī)格：
型號(hào) | ZEPTO ONE | |
控制系統(tǒng) | 手動(dòng)控制 | |
工藝氣路 | 單路氣體 | |
工藝氣體 | O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等 | |
流量計(jì) | 針閥流量計(jì) | |
單體導(dǎo)入 | H2O等單體（選配） | |
真空 腔體 | 材質(zhì) | 高硼硅玻璃，蓋子門帶觀察窗（石英選配） |
內(nèi)尺寸(Dia.×D) | 105mm×200mm | |
容積 | 1.7L | |
電極 | 360度外置環(huán)繞電極 | |
發(fā)生器* | 100KHz 0~30W 13.56MHz 0~30W | |
托盤 | 高硼硅玻璃，（石英選配） | |
外形尺寸（WXDxH）mm | 269x324x176 | |
電源 | AC220V 50Hz 10A | |
真空泵 | 排氣速度4m3/H | |
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關(guān)鍵詞:
Diener
等離子清洗機(jī)
ZEPTO ONE
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