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Diener 等離子表面處儀 Tetra120 羅茨風(fēng)機(jī)

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更新時(shí)間：2023-08-09 09:41:56瀏覽次數(shù)：152次

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技術(shù)應(yīng)用鏈接:Tetra120LF-PC|特殊設(shè)備開關(guān)柜：寬600mm、高2100mm、深800mm腔室：寬700mm、高200mm、深700mm腔室容積：約120升氣體供給：MFC控制的氣體通道發(fā)生器：40kHz
技術(shù)應(yīng)用鏈接:

Tetra 120 LF-PC | 特殊設(shè)備

開關(guān)柜： 寬 600 mm、高 2100 mm、深 800 mm

腔室： 寬 700 mm、高 200 mm、深 700 mm

腔室容積： 約120 升

氣體供給： MFC 控制的氣體通道

發(fā)生器：  40 kHz，13.56 MHz

控制系統(tǒng)： PC 控制系統(tǒng) (Windows) 

 

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Diener
等離子表面處儀
Tetra120
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