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Diener 等離子表面處儀 Tetra2800 羅茨風(fēng)機(jī)

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更新時(shí)間：2023-08-09 09:41:56瀏覽次數(shù)：209次

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技術(shù)應(yīng)用鏈接:Tetra2800LF-PC|特殊設(shè)備開關(guān)柜：寬600mm、高1700mm、深800mm腔室：∅1200mm
技術(shù)應(yīng)用鏈接:

Tetra 2800 LF-PC | 特殊設(shè)備

開關(guān)柜：寬 600 mm、高 1700 mm、深 800 mm

腔室：∅ 1200 mm，深 2500 mm

腔室容積：約 2800 升

氣體供給：通過 MFC 控制的 3 個(gè)氣體通道

發(fā)生器：1 個(gè) (40 kHz)（可選：13.56 MHz 或 2.45 GHz）

控制系統(tǒng)：配有工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)總線的 PC-控制系統(tǒng) (Windows)

未找到相應(yīng)參數(shù)組，請(qǐng)于后臺(tái)屬性模板中添加

 

 

 

 

 

 

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