半導(dǎo)體／FPD檢查顯微鏡 規(guī)格

MX61L

MX61

光學(xué)系統(tǒng)

UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無限遠(yuǎn)校正）

機(jī)身

觀察方法

明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)/微分干涉/簡(jiǎn)易偏振光/熒光

反射/透射

反射/透射

照明裝置

機(jī)身一體型（明視場(chǎng)，暗視場(chǎng)＋1選件）

照明系統(tǒng)

反射照明

100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙

透射照明

纖維光導(dǎo)

對(duì)焦單元

電動(dòng)/手動(dòng)

手動(dòng)

行程

32 mm

分辨率/微調(diào)靈敏度

微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動(dòng)1周移動(dòng)0.1 mm

樣本高度

30 mm

物鏡轉(zhuǎn)換器

電動(dòng)型

明視場(chǎng)微分干涉6孔

明暗視場(chǎng)微分干涉5孔

明暗視場(chǎng)微分干涉6孔

明暗視場(chǎng)微分干涉中心輸出5孔

手動(dòng)式

-

載物臺(tái)

行程

14×12英寸右下手柄：
356（X）×305（Y）mm
（透射照明范圍356×284 mm）

8×8 英寸右下手柄：
210（X）×210（Y）mm
（透射照明范圍189×189 mm）
6×6 英寸右下手柄：
158（X）×158（Y）mm

觀察筒

廣角視場(chǎng)
（視場(chǎng)數(shù)22）

倒置

雙目/三目觀察筒

正像

三目觀察筒

超寬視場(chǎng)
（視場(chǎng)數(shù)26.5）

倒置

三目觀察筒

正像

傾斜三目觀察筒

附件單元

DUV單元/IR單元/電動(dòng)載物臺(tái)/自動(dòng)裝載

外形尺寸

710（W）×843（D）×507（H）mm
（標(biāo)準(zhǔn)組合）

509（W）×843（D）×507（H）mm
（標(biāo)準(zhǔn)組合）

重量

51 kg（標(biāo)準(zhǔn)組合）

40 kg（標(biāo)準(zhǔn)組合）