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氣體環(huán)境密封 6探針真空探針臺測試腔

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更新時間：2024-04-24 15:55:44瀏覽次數(shù)：66次

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鄭州科探儀器設備有限公司

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產(chǎn)品簡介

簡要描述：流量計數(shù)量：5個，（根據(jù)客戶需求標定氣體量程進氣口和出氣口）氣體環(huán)境密封 6探針真空探針臺測試腔流量規(guī)格：500 ml/min精準度：#177;1.0% S.P.（≥30% F.S.）#177;0.30% F.S.（＜30% F.S.）重復精度：#177;0.2% F.S響應時間：≤1 s密封形式：金屬密封接頭尺寸：6 mm漏率：＜1#215;10-8 Pa#183;m3......

詳細介紹

1、氣體環(huán)境密封 6探針真空探針臺測試腔

測試夾具要求：可實現(xiàn)XYZ移動；

測試腔：同時滿足靜態(tài)/動態(tài)測試，304不銹鋼材質(zhì)，可在紫外燈下保證氣密性測試；

測試樣品數(shù)：同時測試8個樣品，可進行頻率-阻抗測試、插指電極和場效應管測試；

測量溫度：室溫---300 ℃

控溫精度：±1 ℃

顯示精度：±0.1 ℃

測溫傳感器：PT100

升溫斜率：1-10 ℃/min

通訊類型：RS485

加熱功率：500 W

測試腔容積<2 L

2、氣體環(huán)境密封 6探針真空探針臺測試腔

流量計數(shù)量：5個，（根據(jù)客戶需求標定氣體量程進氣口和出氣口）

流量規(guī)格：500 ml/min

精準度：±1.0% S.P.(≥30% F.S.)±0.30% F.S.(＜30% F.S.)

重復精度：±0.2% F.S

響應時間：≤1 s

密封形式：金屬密封

探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本

該探針臺的承片臺X/Y/Z三個方向均可在真空環(huán)境下調(diào)節(jié)，其中X方向調(diào)節(jié)范圍：0－30mm；y方向調(diào)節(jié)范圍：0－13mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0－13mm；用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測。

接頭尺寸：6 mm

漏率：＜1×10-8 Pa·m3/s

通訊接口：RS485