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鄭州科探儀器設備有限公司


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氣體環(huán)境密封 6探針真空探針臺測試腔

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

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更新時間:2024-04-24 15:55:44瀏覽次數(shù):93次

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產(chǎn)品簡介

簡要描述:流量計數(shù)量:5個,(根據(jù)客戶需求標定 氣體 量程 進氣口和出氣口) 氣體環(huán)境密封 6探針真空探針臺測試腔流量規(guī)格:500 ml/min精準度:#177;1.0% S.P.(≥30% F.S.)#177;0.30% F.S.(<30% F.S.)重復精度:#177;0.2% F.S響應時間:≤1 s密封形式:金屬密封接頭尺寸:6 mm漏率:<1#215;10-8 Pa#183;m3......

詳細介紹

1、氣體環(huán)境密封 6探針真空探針臺測試腔

測試夾具要求:可實現(xiàn)XYZ移動;

測試腔:同時滿足靜態(tài)/動態(tài)測試,304不銹鋼材質(zhì),可在紫外燈下保證氣密性測試;

測試樣品數(shù):同時測試8個樣品,可進行頻率-阻抗測試、插指電極和場效應管測試;

測量溫度:室溫---300 ℃

控溫精度:±1 ℃

顯示精度:±0.1 ℃

測溫傳感器:PT100

升溫斜率:1-10 ℃/min

通訊類型:RS485

加熱功率:500 W

測試腔容積<2 L

2、氣體環(huán)境密封 6探針真空探針臺測試腔

流量計數(shù)量:5個,(根據(jù)客戶需求標定 氣體  量程    進氣口和出氣口) 

流量規(guī)格:500 ml/min

精準度:±1.0% S.P.(≥30% F.S.)±0.30% F.S.(30% F.S.)

重復精度:±0.2% F.S

響應時間:≤1 s

密封形式:金屬密封

 

 

   探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本

 

   該探針臺的承片臺X/Y/Z三個方向均可在真空環(huán)境下調(diào)節(jié),其中X方向調(diào)節(jié)范圍:0-30mm;y方向調(diào)節(jié)范圍:0-13mm;z方向調(diào)節(jié)范圍:0-13mm;用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上,再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對準檢測點后,即可進行檢測。

接頭尺寸:6 mm

漏率:<1×10-8 Pa·m3/s

通訊接口:RS485

4、樣品12*10mm,探針可移動范圍x-y 1-10mm,z

5、每個樣品上方一個紫外燈,四個燈連成燈串外置一個可控開關。紫外燈可更換,樣品上方2cm。

6、加熱板上有個鍍金襯底,用來連接柵極。


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