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真空光電探針臺

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

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更新時間:2024-04-26 15:29:03瀏覽次數(shù):110次

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產(chǎn)品簡介

真空光電探針臺 主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本

詳細介紹

     真空光電探針臺 要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本

 

 

 

      該真空光電探針臺 的承片X/Y/Z三個方向均可在真空環(huán)境下調(diào)節(jié),其中X方向調(diào)節(jié)范圍:0-30mm;y方向調(diào)節(jié)范圍:0-13mm;z方向調(diào)節(jié)范圍:0-13mm;用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱上,再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對準(zhǔn)檢測點后,即可進行檢測。

 

 

 

實驗腔體

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

上蓋開啟

鉸鏈側(cè)開

內(nèi)腔體尺寸

φ140x180

加熱臺材質(zhì)

304不銹鋼

觀察窗尺寸

φ75

加熱臺尺寸

50x50

加熱臺溫度

室溫-350℃可調(diào)

加熱臺溫控誤差

±1

真空度

機械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

真空抽氣口

KF25

氣體進氣口

3mm-6mm卡套接頭

進氣閥門

高精密針閥

抽氣閥門

KF25真空擋板閥

壓力表

機械壓力表 -0.1-0.15mpa

信號電極

4

探針數(shù)量

4

探針材質(zhì)

φ1.5鎢針   其他材質(zhì)可選

探針移動平臺

X軸移動行程

30mm    ±15mm

X軸控制精度

≤0.1MM 

Y軸移動行程

13MM    ±6.5mm

Y軸控制精度

≤0.05MM 

Z軸移動行程

13mm   ±6.5mm

Z軸控制精度

≤0.05MM 

信號電極

電極芯

1

電極引出接頭

BNC母頭

電極引出線

銅網(wǎng)信號屏蔽線

BNC引出接頭

X4

額定電流

≤5A

額定電壓

≤220V

電極芯直徑

φ1mm

接觸電阻

≤5MΩ

絕緣電阻

≥1000 MΩ

外殼接地

電子顯微鏡

電子顯微鏡根據(jù)客戶需要配置不同倍率 請和客服溝通


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