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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
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更新時(shí)間：2024-04-29 09:29:06瀏覽次數(shù)：99次
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真空探針臺(tái)KT-Z160TZ，高溫真空腔探針系統(tǒng)主要用于為被測(cè)芯片提供一個(gè)低溫或者高溫的變溫測(cè)量環(huán)境，以便測(cè)量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測(cè)芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件接觸空氣所帶來(lái)的測(cè)試結(jié)果誤差。
真空探針臺(tái)KT-Z160TZ主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。探針臺(tái)從操作上來(lái)區(qū)分有：手動(dòng)，半自動(dòng)，全自動(dòng)從功能上來(lái)區(qū)分有：溫控探針臺(tái)，真空探 針臺(tái)(低溫探針臺(tái))，RF探針臺(tái)，LCD平板探針臺(tái)，霍爾效應(yīng)探針臺(tái)，表面電阻率探針臺(tái)。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺(tái)，可編程承片臺(tái)、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成
高低溫真空 探針臺(tái)應(yīng)用：
可應(yīng)用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測(cè)樣品的電學(xué)性能測(cè)試分析，如：半導(dǎo)體/微電子，電子，機(jī)電，物理，化學(xué)，材料，光電，納米，微機(jī)電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域，以及IC設(shè)計(jì)/制造/測(cè)試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。
· 結(jié)構(gòu)緊湊，適用于各種變溫測(cè)試
· -196℃~400℃（配液氮致冷模塊）
· 氣密腔室設(shè)計(jì)，可通保護(hù)氣氛
· 4探針，手動(dòng)定位（可擴(kuò)展為6個(gè)）
· 支持改動(dòng)或定制
真空探針臺(tái)KT-Z160TZ參數(shù)
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真空腔體 | |
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腔體材質(zhì) |
304不銹鋼 |
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上蓋開(kāi)啟 |
鉸鏈側(cè)開(kāi) |
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加熱臺(tái)材質(zhì) |
304不銹鋼 |
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內(nèi)腔體尺寸 |
φ160x90mm |
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觀察窗尺寸 |
Φ70mm |
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加熱臺(tái)尺寸 |
φ60mm |
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觀察窗熱臺(tái)間距 |
75mm |
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加熱臺(tái)溫度 |
﹣196~400℃ |
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加熱臺(tái)溫控誤差 |
±1℃ |
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真空度 |
機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
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允許正壓 |
≤0.1MPa |
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真空抽氣口 |
KF25真空法蘭 |
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氣體進(jìn)氣口 |
3mm-6mm卡套接頭 |
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電信號(hào)接頭 |
SMA轉(zhuǎn)BNC X 4 |
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電學(xué)性能 |
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V |
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探針數(shù)量 |
4探針 |
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探針材質(zhì) |
鎢針 |
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探針尖 |
10μm |
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探針移動(dòng)平臺(tái) | |
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X軸移動(dòng)行程 |
30mm ±15mm |
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X軸控制精度 |
≤0.01mm |
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Y軸移動(dòng)行程 |
13mm ±12.5mm |
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Y軸控制精度 |
≤0.01mm |
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Z軸移動(dòng)行程 |
13mm ±12.5mm |
|
Z軸控制精度 |
≤0.01mm |
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電子顯微鏡 | |
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顯微鏡類別 |
物鏡 |
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物鏡倍數(shù) |
0.7-4.5倍 |
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工作間距 |
90mm |
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相機(jī) |
sony 高清 |
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像素 |
1920※1080像素 |
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圖像接口 |
VGA |
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LED可調(diào)光源 |
有 |
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顯示屏 |
8寸 |
|
放大倍數(shù) |
19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
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