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mini型磁控濺射儀

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更新時間：2024-05-03 08:37:56瀏覽次數(shù)：303次

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鄭州科探儀器設備有限公司

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聯(lián)系人：陳先生（銷售）

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產(chǎn)品簡介

mini型磁控濺射儀KT-Z1650PVD，桌面式設計小巧卻功能齊全。觸摸屏控制功率，樣品臺0-8轉(zhuǎn)/分旋轉(zhuǎn)，自動電動樣品擋板等。

詳細介紹

mini型磁控濺射儀KT-Z1650PVD，該設備集磁控濺射與離子鍍膜技術為一體，對提高顏色一致性、沉積速率及化合物成份的穩(wěn)定性提供了解決方案。設備具有外形美觀、結構緊湊、占地面積小、自動化程度高、操作簡單靈活、性能穩(wěn)定、易維護等特點。設備可適用于不銹鋼、水鍍五金件/塑膠件、玻璃、陶瓷等材質(zhì)；可制備單質(zhì)金屬層如鈦、鉻、銀、銅或金屬化合物膜層如TiN/TiCN/TiC/TiO2/TiAlN/CrN/ZrN/CrC等；可實現(xiàn)深黑色、爐內(nèi)金、玫瑰金、仿金、鋯金、寶石藍、亮銀色等顏色。

mini型磁控濺射儀KT-Z1650PVD廠家供應技術參數(shù)；

控制方式	7寸人機界面手動自動模式切換控制
濺射電源	直流濺射電源
鍍膜功能	0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
功率	≤1000W
輸出電壓電流	電壓≤1000V 電流≤1A
真空	機械泵 ≤5Pa（5分鐘）分子泵≤5*10^-3Pa
濺射真空	≤30Pa
擋板類型	電控
真空腔室	石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm
樣品臺	可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底）
樣品臺轉(zhuǎn)速	8轉(zhuǎn)/分鐘
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離	40-105mm
真空測量	皮拉尼真空計（已安裝測量范圍10E5Pa 1E-1Pa）
預留真空接口	KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口