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EM01-RD 多入射角激光橢偏儀

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產(chǎn)品型號EM01-RD

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廠商性質(zhì)其他

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更新時間:2023-03-12 17:50:30瀏覽次數(shù):239次

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產(chǎn)品簡介

特別聲明:EM01-RD多入射角激光橢偏儀(研發(fā))已升至EMPro31型多入射角激光橢偏儀,主要升內(nèi)容包括:單次測量速度提高3倍;新的儀器外形;整體穩(wěn)定性增強.納米薄膜研發(fā)領(lǐng)域的多入射角激光橢偏儀,用于納米薄膜的厚度、折射率n、消光系數(shù)k等參數(shù)的測量

詳細介紹

特別聲明:

EM01-RD多入射角激光橢偏儀(研發(fā))已升至EMPro31 型多入射角激光橢偏儀,主要升內(nèi)容包括:

單次測量速度提高3倍;

新的儀器外形;

整體穩(wěn)定性增強.

納米薄膜研發(fā)領(lǐng)域的多入射角激光橢偏儀,用于納米薄膜的厚度、折射率n、消光系數(shù)k等參數(shù)的測量。適用于光面或絨面納米薄膜測量、塊狀固體參數(shù)測量、快速變化的納米薄膜實時測量等不同的應(yīng)用場合。采用量拓科技多項技術(shù),儀器操作具有個性化定制功能,方便使用。

特點:

高精度、高穩(wěn)定性

 一體化集成設(shè)計

快速、高精度樣品方位對準(zhǔn)

多入射角度測量

快速反應(yīng)過程的實時測量

操作簡單

豐富的材料庫及物理模型

強大的數(shù)據(jù)分析和管理

應(yīng)用領(lǐng)域:

可對納米薄膜層構(gòu)樣品的薄膜厚度、折射率n及消光系數(shù)k進行快速、高精度、高準(zhǔn)確度的測量,尤其適合于科研和工業(yè)產(chǎn)品環(huán)境中的新品研發(fā)

可用于表征單層納米薄膜、多層納米層構(gòu)膜系,以及塊狀材料(基底)。

應(yīng)用領(lǐng)域涉及納米薄膜的幾乎領(lǐng)域,如微電子、半導(dǎo)體、集成電路、顯示技術(shù)、太陽電池、光學(xué)薄膜、生命科學(xué)、電化學(xué)、磁介質(zhì)存儲、聚合物及金屬表面處理等。

性能保證:

高穩(wěn)定性的He-Ne激光光源、高精度的采樣方法以及低噪聲探測技術(shù),保證了系統(tǒng)的高穩(wěn)定性和高準(zhǔn)確度

.高精度的光學(xué)自準(zhǔn)直望遠系統(tǒng),保證了快速、高精度的樣品方位對準(zhǔn)

穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)設(shè)計、可靠的樣品方位對準(zhǔn),結(jié)合采樣技術(shù),保證了快速、穩(wěn)定測量

分立式的多入射角選擇,可應(yīng)用于復(fù)雜樣品的折射率和相對厚度的測量

一體化集成式的儀器結(jié)構(gòu)設(shè)計,使得系統(tǒng)操作簡單、整體穩(wěn)定性提高,并節(jié)省空間

軟件方便納米薄膜樣品的測試和建模。

技術(shù)指標(biāo):

激光波長

632.8nm (He-Ne laser)

膜厚測量重復(fù)性

0.01nm (對于Si基底上110nm的SiO2膜層)

折射率精度

1x10-4 (對于Si基底上110nm的SiO2膜層)

光學(xué)結(jié)構(gòu)

PSCA

激光光束直徑

<1mm

入射角度

40°-90°可選,步進5°

樣品方位調(diào)整

三維平移調(diào)節(jié)

二維俯仰調(diào)節(jié)

光學(xué)自準(zhǔn)直系統(tǒng)對準(zhǔn)

樣品臺尺寸

Φ170mm

單次測量時間

0.2s

推薦測量范圍

0-6000nm

大外形尺寸(長x寬x高)

887 x 332 x 552mm (入射角為70º時)

儀器重量(凈重)

25Kg

可選配件:

NFS-SiO2/Si二氧化硅納米薄膜標(biāo)片

NFS-Si3N4/Si氮化硅納米薄膜標(biāo)片

VP01真空吸附泵

VP02真空吸附泵

樣品池

 

關(guān)鍵詞:橢偏儀 電池

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