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EM13 LD系列多入射角激光橢偏儀

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產(chǎn)品型號EM13 LD

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時間:2023-03-13 17:20:55瀏覽次數(shù):221次

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產(chǎn)品簡介

EM13LD系列是采用量拓科技的測量技術,針對普通精度需求的研發(fā)和質(zhì)量控制領域推出的多入射角激光橢偏儀

詳細介紹

  EM13LD 系列是采用量拓科技的測量技術,針對普通精度需求的研發(fā)和質(zhì)量控制領域推出的多入射角激光橢偏儀。

    EM13LD系列采用半導體激光器作為光源,可在單入射角度或多入射角度下對樣品進行準確測量。可用于測量單層或多層納米薄膜樣品的膜層厚度、折射率n和消光系數(shù)k;也可用于同時測量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k;亦可用于實時測量納米薄膜動態(tài)生長中膜層的厚度、折射率n和消光系數(shù)k。多入射角度設計實現(xiàn)了納米薄膜的相對厚度測量。

    EM13LD系列采用了量拓科技多項技術。

特點:

次納米的高靈敏度

采樣方法、穩(wěn)定的核心器件、高質(zhì)量的制造工藝實現(xiàn)并保證了能夠測量極薄納米薄膜,膜厚精度可達到0.5nm。

3秒的快速測量

水準的儀器設計,在保證精度和準確度的同時,可在3秒內(nèi)快速完成一次測量,可對納米膜層生長過程進行測量。

簡單方便的儀器操作

用戶只需一個按鈕即可完成復雜的材料測量和分析過程,數(shù)據(jù)一鍵導出。豐富的模型庫、材料庫方便用戶進行高測量設置。

應用:

EM13LD系列適合于普通精度要求的科研和工業(yè)環(huán)境中的新品研發(fā)或質(zhì)量控制。

EM13LD系列可用于測量單層或多層納米薄膜層構(gòu)樣品的薄膜厚度、折射率n及消光系數(shù)k;可用于同時測量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k;可用于實時測量快速變化的納米薄膜的厚度、折射率n和消光系數(shù)k。

EM13LD可應用的納米薄膜領域包括:微電子、半導體、集成電路、顯示技術、太陽電池、光學薄膜、生命科學、化學、電化學、磁質(zhì)存儲、平板顯示、聚合物及金屬表面處理等??蓱玫膲K狀材料領域包括:固體(金屬、半導體、介質(zhì)等),或液體(純凈物或混合物)。

技術指標:

項目

技術指標

儀器型號

EM13 LD/635 (或其它選定波長)

激光波長

635 nm (或其它選定波長,高穩(wěn)定半導體激光器)

膜厚測量重復性(1)

0.5nm (對于平面Si基底上100nm的SiO2膜層)

折射率測量重復性(1)

5x10-3 (對于平面Si基底上100nm的SiO2膜層)

單次測量時間

與測量設置相關,典型3s

大的膜層范圍

透明薄膜可達1000nm

吸收薄膜則與材料性質(zhì)相關

光學結(jié)構(gòu)

PSCA(Δ在0°或180°附近時也具有的準確度)

激光光束直徑

2mm

入射角度

40°-90°可手動調(diào)節(jié),步進5°

樣品方位調(diào)整

Z軸高度調(diào)節(jié):±6.5mm

二維俯仰調(diào)節(jié):±4°

樣品對準:光學自準直和顯微對準系統(tǒng)

樣品臺尺寸

平面樣品直徑可達Φ170mm

大外形尺寸

887 x 332 x 552mm (入射角為90º時)

儀器重量(凈重)

25Kg

選配件

水平XY軸調(diào)節(jié)平移臺,真空吸附泵

軟件(ETEM)

* 中英文界面可選

* 多個預設項目供快捷操作使用

* 單角度測量/多角度測量操作和數(shù)據(jù)擬合

* 方便的數(shù)據(jù)顯示、編輯和輸出

* 豐富的模型和材料數(shù)據(jù)庫支持

 注:(1)測量重復性:是指對標準樣品上同一點、同一條件下連續(xù)測量30次所計算的標準差。

 性能保證:

穩(wěn)定性的半導體激光光源、采樣方法,保證了穩(wěn)定性和準確度

高精度的光學自準直系統(tǒng),保證了快速、高精度的樣品方位對準

穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)設計、可靠的樣品方位對準,結(jié)合采樣技術,保證了快速、穩(wěn)定測量

分立式的多入射角選擇,可應用于復雜樣品的折射率和相對厚度的測量

一體化集成式的儀器結(jié)構(gòu)設計,使得系統(tǒng)操作簡單、整體穩(wěn)定性提高,并節(jié)省空間

一鍵式軟件設計以及豐富的物理模型庫和材料數(shù)據(jù)庫,方便用戶使用 

可選配件:

 NFS-SiO2/Si二氧化硅納米薄膜標片

 NFS-Si3N4/Si氮化硅納米薄膜標片

 VP01真空吸附泵

 VP02真空吸附泵

 樣品池

關鍵詞:橢偏儀 電池

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