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捷歐路JEOL JSM-7610F 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

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捷歐路JEOL JSM-7610F 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡是一款半浸沒(méi)式(semi-in-lens)高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡,照明系統(tǒng)采用High Power Optics(高性能電子光學(xué)系統(tǒng)),可以進(jìn)行高分辨率、高精度的快速元素分析。配合Gentle Beam (GB模式即柔和光束),可以用幾百電子伏的...

詳細(xì)介紹

捷歐路JEOL JSM-7610F 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡是一款半浸沒(méi)式(semi-in-lens)高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡,照明系統(tǒng)采用High Power Optics(高性能電子光學(xué)系統(tǒng)),可以進(jìn)行高分辨率、高精度的快速元素分析。配合Gentle Beam (GB模式即柔和光束),可以用幾百電子伏的入射電子束觀察樣品的淺表面。半浸沒(méi)式(semi-in-lens)物鏡在低加速電壓下也能將電子束聚焦得很細(xì);浸沒(méi)式(in-lens)肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍壽命長(zhǎng),能獲得穩(wěn)定的電流,這兩者的結(jié)合既兼顧了高分辨率觀察同時(shí)也能夠進(jìn)行高空間分辨率分析。通過(guò)給樣品加以偏壓并照射電子束,能夠利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 ,以幾百電子伏的入射電子對(duì)樣品的淺表面進(jìn)行高分辨率觀察,這是迄今為止未能實(shí)現(xiàn)的。
電子光學(xué)系統(tǒng)采用了高性能電子光學(xué)系統(tǒng)。不僅能進(jìn)行高分辨率觀察還可以進(jìn)行穩(wěn)定、快速、高精度的元素分析。

電子槍 肖特基場(chǎng)發(fā)射
物鏡 semi-in-lens物鏡
分辨率 1.0 nm @ 15 kV、1.3 nm @ 1 kV                           
分析模式:3.0 nm @ 15kV  WD8mm 5nA
加速電壓 0.1~30kV
束流 幾pA ~ 200nA @ 15 kV
自動(dòng)光闌角控制透鏡 內(nèi)置
倍率 x 25 ~ x 1,000,000(120mm x 90mm photograph size); ×75~×3,000,000(1280 x 960 pixels display);
檢測(cè)器 高位檢測(cè)器(SED)
低位檢測(cè)器(LED)
能量過(guò)濾器 r-能量過(guò)濾器
Gentle Beam模式 內(nèi)置
樣品交換室 內(nèi)置(具有干燥氮?dú)鈱?dǎo)入功能)
氣鎖式、可交換的樣品:φ100mm×40mmH
樣品臺(tái) 5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)、全對(duì)中測(cè)角樣品臺(tái)
樣品移動(dòng)范圍 X: 70 mm , Y: 50 mm,Z: 1.0~25 mm,傾斜:-5~70°, 旋轉(zhuǎn): 360°

 


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