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橢偏儀 FILM SENSE

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產(chǎn)品型號FILM SENSE

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更新時(shí)間：2022-11-15 16:21:45瀏覽次數(shù)：271次

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產(chǎn)品簡介

橢偏儀 FILM SENSE可通過橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測量，快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)參數(shù)薄膜和納米結(jié)構(gòu)的表征分析,適用于薄膜材料的快速測量表征.

詳細(xì)介紹

橢偏儀是一種用于探測薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測量儀器。由于測量精度高，適用于超薄薄膜測量，

與樣品非接觸，對樣品沒有破壞且不需要真寬，使得橢偏儀成為一種吸引力的測量儀器。
橢偏儀是測量比率，所以它對光束強(qiáng)度的變化或樣品的缺陷引起散射光不敏感。橢偏儀在每個(gè)波長測量2個(gè)量(Ψ and Δ)，

可以確定2個(gè)定量比如薄膜厚度，以及光學(xué)常數(shù)或基底的折射系數(shù)和消光系數(shù)。橢偏儀對薄膜Δ參數(shù)相位差極其敏感，能夠準(zhǔn)確的測量薄膜厚度低至0 Å。

關(guān)鍵詞：橢偏儀 光學(xué)測量儀

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