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深圳市東信高科自動(dòng)化設(shè)備有限公司


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真空等離子清洗機(jī)TS-PL150MA

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產(chǎn)品型號(hào)TS-PL150MA

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更新時(shí)間:2023-04-05 08:44:45瀏覽次數(shù):444次

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所在地區(qū):

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

真空等離子清洗機(jī)TS-PL150MA

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

名稱(chēng)

真空等離子清洗機(jī)

型號(hào)

TS-PL150MA

外形尺寸(W×H×D)

1200×1100×1730(mm)

反應(yīng)腔尺寸(W×H×D)

500×500×600(mm)

真空腔體材料

進(jìn)口316不銹鋼

真空泵

雙級(jí)組合泵

角閥

北儀 超真空40KF

流量控制器及顯示儀

0-800ml/min

真空顯示規(guī)管及讀取器

Pirani

射頻電源

美國(guó)品牌 40KHZ、 13.56MHZ 、2.45GHZ

PLC系統(tǒng)

三菱(包括PLC,A/D模組兩組,D/A模塊兩組,溫度模塊)

電氣系統(tǒng)

施耐德

變頻器

西門(mén)子2KW

觸摸屏

中國(guó)臺(tái)灣威綸真彩10寸

陶瓷封裝

進(jìn)口高頻陶瓷

處理氣體

O2、Ar2、N2,H2、CF4

等離子清洗機(jī),英文叫(Plasma Cleaner)又稱(chēng)等離子體清洗機(jī),等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機(jī),等離子表面處理機(jī),電漿清洗機(jī),plasma清洗機(jī),等離子去膠機(jī),等離子清洗設(shè)備。適合各種基片、粉體或顆粒狀材料的等離子表面改性處理,包括:等離子清洗、活化、刻蝕、沉積、接枝與聚合等。

真空等離子清洗機(jī)簡(jiǎn)介

TS系列低溫等離子表面處理設(shè)備-低壓(真空)等離子清洗機(jī)由真空腔體及高頻等離子電源、抽真空系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、自動(dòng)控制系統(tǒng)等部分組成。工作基本原理是在真空狀態(tài)下,等離子作用在控制和定性方法下能夠電離氣體,利用真空泵將工作室進(jìn)行抽真空達(dá)到0.02-0.03mbar 的真空度,再在高頻發(fā)生器作用下,將氣體進(jìn)行電離,形成等離子體(物質(zhì)第四態(tài))。高頻發(fā)生器提供能量使氣體電離成等離子態(tài)。等離子態(tài)顯著的特點(diǎn)是高均勻性輝光放電,根據(jù)不同氣體發(fā)出從藍(lán)色到深紫色的色彩可見(jiàn)光,材料處理溫度接近室溫。這些高度活躍微粒子和處理的表面發(fā)生作用,得到了表面親水性、拒水性、低摩擦、高度清潔、激活、蝕刻等各種表面改性。

真空等離子清洗機(jī)整個(gè)清洗過(guò)程大致如下:1)被清洗的工件送入真空式并加以固定,啟動(dòng)運(yùn)行裝置,開(kāi)始排氣,使真空室內(nèi)的真空程度達(dá)到10Pa左右的標(biāo)準(zhǔn)真空度。一般排氣時(shí)間大約需要幾分鐘。2)向真空室內(nèi)引入等離子清洗用的氣體,并保持腔內(nèi)壓強(qiáng)穩(wěn)定。根據(jù)清洗材質(zhì)的不同,可分別使用氧氣、氬氣、氫氣、氮?dú)?、四氟化碳等氣體。3)在真空室內(nèi)的電極與接地裝置之間施加高頻電壓,使氣體被擊穿,并通過(guò)輝光放電而發(fā)生等離子化和產(chǎn)生等離子體,讓在真空室產(chǎn)生的等離子體籠罩住被處理工件,開(kāi)始清洗作業(yè),一般清洗處理持續(xù)幾十秒到幾十分鐘不等。4)清洗完畢后切斷電源,并通過(guò)真空泵將氣體和氣化的污垢抽走排出。

TS-PL150MA真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)

1.環(huán)保技術(shù):等離子體作用過(guò)程是氣- 固相干式反應(yīng) ,不消耗水資源、無(wú)需添加化學(xué)藥劑,對(duì)環(huán)境無(wú)污染。

2.廣適性:不分處理對(duì)象的基材類(lèi)型,均可進(jìn)行處理,如金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料都能很好地處理;

3.溫度低:接近常溫,特別適于高分子材料,比電暈和火焰方法有較長(zhǎng)保存時(shí)間和較高表面張力。

4.功能強(qiáng):僅涉及高分子材料淺表面(10 -1000A ),可在保持材料自身特性的同時(shí),賦予其一種或多種新的功能;

5.低成本:裝置簡(jiǎn)單,易操作維修,可連續(xù)運(yùn)行,往往幾瓶氣體就可以代替數(shù)千公斤清洗液,因此清洗成本會(huì)大大低于濕法清洗。

6.全過(guò)程可控工藝:所有參數(shù)可由PLC設(shè)置和數(shù)據(jù)記錄,進(jìn)行質(zhì)量控制。

7.處理物幾何形狀無(wú)限制:大或小,簡(jiǎn)單或復(fù)雜,部件或紡織品,均可處理。

真空等離子清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于

等離子清洗、刻蝕、等離子鍍、等離子涂覆、等離子灰化和表面改性等場(chǎng)合。通過(guò)其處理,能夠改善材料表面的潤(rùn)濕能力,使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、鍍等操作,增強(qiáng)粘合力、鍵合力,同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂。

真空等離子清洗機(jī)技術(shù)特點(diǎn)是:它不分處理對(duì)象,可處理不同的基材,無(wú)論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物還是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、據(jù)四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹(shù)脂等高聚物)都可用等離子體很好地處理,因此,特別適合不耐熱和不耐溶劑的基底材料。而且還可以有選擇地對(duì)材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行部分清洗。

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