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VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀（直流普通型），控制面板采用觸摸屏模式，基片極限尺寸為2″，放置樣品的直徑為Ø50mm，加熱溫度達(dá)500℃。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀可濺射金、銀、銅三種靶材，不可以濺射輕金屬和碳。本機(jī)采用旋轉(zhuǎn)式樣品臺(tái)，能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜，適用于實(shí)驗(yàn)室制備復(fù)膜的樣品。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀采用PLC控制面板對(duì)設(shè)備進(jìn)行控制，操作方便直觀(guān)。該機(jī)設(shè)備小巧，占用實(shí)驗(yàn)室空間少，操作簡(jiǎn)單，應(yīng)用廣泛。因此被廣泛應(yīng)用于各大高校及科研院所的實(shí)驗(yàn)室中。

產(chǎn)品型號(hào)	VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上）清洗，需自備氬氣氣瓶 4、工作臺(tái)：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 5、通風(fēng)裝置：需要
主要特點(diǎn)	1、PLC控制面板，4.3″觸摸屏，PID控溫方式。 2、可控參數(shù)包括真空度、電流、靶材位置、基片加熱溫度。 3、可與真空泵、不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍連用。 4、已通過(guò)CE認(rèn)證。
技術(shù)參數(shù)	1、輸入功率：110V/220V通用 2000W（含真空泵） 2、輸出功率：1600VDC 50mA（電流） 3、石英罩：Ø160mm×120mm 4、樣品臺(tái)：Ø50mm（可選購(gòu)加熱型樣品臺(tái)，溫度可到500℃；最長(zhǎng)濺射時(shí)間不可超過(guò)5min） 5、真空泵：120L/M旋片式真空泵 6、進(jìn)氣口：裝有精密可調(diào)針閥，以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量 7、靶材：尺寸直徑Ø47mm，厚度0.1mm-3mm；可濺射Au、Ag、Pt、Cr、Ni，不可濺射氧化物、半導(dǎo)體、一些輕　　金屬、Al、Zn、C等
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：360mm×350mm×3600mm；重量：50kg
可選配件	1、KF25真空接口、卡箍 2、不銹鋼波紋管（600mm） 3、旋片式真空泵（120L/M） 4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材 5、加熱型樣品臺(tái)