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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司


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VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

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更新時(shí)間:2022-09-13 15:40:09瀏覽次數(shù):166次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀(直流普通型),控制面板采用觸摸屏模式,基片極限尺寸2,放置樣品的直徑為Ø50mm,加熱溫度達(dá)500℃。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀可濺射金、銀、銅三種靶材,不可以濺射輕金屬和碳。本機(jī)采用旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái),能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜,適用于實(shí)驗(yàn)室制備復(fù)膜的樣品VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀采用PLC控制面板對(duì)設(shè)備進(jìn)行控制,操作方便直觀(guān)。該機(jī)設(shè)備小巧,占用實(shí)驗(yàn)室空間少,操作簡(jiǎn)單,應(yīng)用廣泛。因此被廣泛應(yīng)用于各大高校及科研院所的實(shí)驗(yàn)室中。

產(chǎn)品型號(hào)

   VTC-16-3HD  3靶等離子濺射儀

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好

3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上)清洗,需自備氬氣氣瓶

4、工作臺(tái):尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

   1、PLC面板,4.3觸摸屏,PID控溫方式。

   2、可控參數(shù)包括真空度、電流、靶材位置、基片加熱溫度。

   3、可與真空泵、不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍連用。

   4、已通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

   1、輸功率:110V/220V通用   2000W(含真空泵)

   2、輸出功率:1600VDC  50mA(電流)

   3、石英罩:Ø160mm×120mm

   4、品臺(tái):Ø50mm(可選購(gòu)加熱型樣品臺(tái),溫度可到500℃;最長(zhǎng)濺射時(shí)間不可超過(guò)5min

   5、真空泵:120L/M旋片式真空泵

   6、進(jìn)氣口:裝有精密可調(diào)針閥,以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量

   7、材:尺寸直徑Ø47mm,厚度0.1mm-3mm;可濺射Au、Ag、PtCr、Ni,不可濺射氧化物、半導(dǎo)體、一些輕

         金屬、Al、Zn、C

產(chǎn)品規(guī)格

 尺寸:360mm×350mm×3600mm;重量:50kg

可選配件

   1、KF25真空接口、卡箍

   2、不銹鋼波紋管(600mm

   3、旋片式真空泵(120L/M

   4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材

   5、加熱型樣品臺(tái)



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