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OTF-1200X-5S小型開啟式管式爐

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更新時(shí)間：2023-06-29 15:25:14瀏覽次數(shù)：100次

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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

OTF-1200X-5S小型開啟式管式爐

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介： OTF-1200X-5S是一款CE認(rèn)證的小型開啟式管式爐，其工作溫度可以達(dá)到1000℃。爐管Φ130mm的高純石英管。設(shè)備配有一對(duì)不銹鋼密封法蘭，可在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行熱處理。對(duì)于控溫系統(tǒng)，可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1℃。此款管式爐最多可對(duì)4英寸的晶片進(jìn)行退火。

產(chǎn)品型號(hào)	OTF-1200X-5S小型開啟式管式爐
主要特點(diǎn)	爐體結(jié)構(gòu) 雙層殼體結(jié)構(gòu) 表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率，保證溫度均勻性，爐膛采用高純氧化鋁纖維作材料，此款管式爐也可做為立式爐使用（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）
技術(shù)參數(shù)	1.功率：3KW 2.電壓：220VAC 50/60Hz 3.工作溫度：1000℃（＜1小時(shí)），連續(xù)工作溫度：900℃ 4.加熱速率：20℃/min 5.加熱區(qū) 加熱區(qū)長(zhǎng)度：300mm 恒溫區(qū)長(zhǎng)度： 100 mm (+/-1ºC ) 140 mm (+/-2ºC ) 6.溫控系統(tǒng) 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序帶有超溫和斷偶保護(hù) 可選購(gòu)MTS02-B控溫模塊，可用電腦設(shè)置和顯示溫度程序 7.歐陸儀表（可選）可選購(gòu)歐陸3504溫控儀表，可與LABVIEW軟件比配 8.控溫精度：+/- 1°C: 9.爐管：石英管，尺寸：130mm O.D x 120mm I.D x 640mmL 配有2個(gè)氧化鋁管堵，使用設(shè)備時(shí)應(yīng)放在爐管兩端，保證恒溫區(qū)和法蘭密封性可選購(gòu)石英管堵，提高爐管內(nèi)的潔凈度和幫助獲得高真空 9.真空密封法蘭配有一對(duì)不銹鋼密封法蘭，采用硅膠密封圈密封右端法蘭為KF25接口，用于連接真空泵左端法蘭上安裝有機(jī)械壓力表，接口為1/4英寸卡套接頭，用于連接氣瓶真空度：10-2torr (采用機(jī)械泵) 可選：5英寸的水冷鉸鏈法蘭，并帶有支撐架水冷法蘭通入冷卻水后，設(shè)備溫度可以達(dá)到1100℃（＜1小時(shí)） 10.真空壓力表安裝有一機(jī)械壓力表，測(cè)量范圍為-0.1～0.15MPa 可選購(gòu)數(shù)顯防腐真空計(jì)當(dāng)氣壓在10mbar以上時(shí)，不需因測(cè)量氣體種類不同而進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換，測(cè)量范圍為3.8x10-5 -1125 Torr 11.鎧裝熱電偶（可選）可選購(gòu)鎧裝K型熱電偶，通過(guò)法蘭的鎧裝孔伸入到爐管內(nèi)部，測(cè)量樣品的實(shí)際溫度可選購(gòu)一個(gè)法蘭支撐架，防止?fàn)t管轉(zhuǎn)動(dòng) 12.尺寸: 爐蓋打開關(guān)閉時(shí): 430mm(L) × 480mm(W) × 480mm(H) 爐蓋打開時(shí) : 660mm(L) × 480mm(W) × 720mm(H) · 13.凈重:48 Kg
質(zhì)保	一年保修，終身維護(hù)
質(zhì)量認(rèn)證	CE認(rèn)證所有電器元件（>24V）都通過(guò)UL / MET / CSA認(rèn)證若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
應(yīng)用注意事項(xiàng)	爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃ 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）