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SP-MSM-4CZ四電弧提拉法單晶生長(zhǎng)爐

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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SP-MSM-4CZ四電弧提拉法單晶生長(zhǎng)爐

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：SP-MSM-4CZ四電弧提拉法單晶生長(zhǎng)爐是一款采用4電弧的提拉法單晶生長(zhǎng)爐（采用Ar氣電弧對(duì)樣品熔融，提拉裝置提拉），其溫度可達(dá)3000℃。腔體為304不銹鋼腔體（帶有水冷夾層），真空度可達(dá)10-5Torr.此款單晶爐特別適合生長(zhǎng)高熔點(diǎn)的單晶，如Ti單晶，YSZ，SiC和CeRh2Si等等。

產(chǎn)品名稱	SP-MSM-4CZ四電弧提拉法單晶生長(zhǎng)爐
技術(shù)參數(shù)	腔體	1、采用304不銹鋼腔體，帶有水冷夾層，可通入冷卻水 2、腔體上安裝有石英窗口，以便觀察樣品 3、腔體真空度：10-5Torr（采用分子泵） 4、腔體尺寸：Φ257*360mm
	真空計(jì)	1、腔體上安裝有數(shù)顯防腐真空計(jì)和機(jī)械壓力表
	電弧槍	1、共有4個(gè)電弧槍?zhuān)勺寴悠返玫骄鶆虻臏貓?chǎng)（電弧槍都帶有冷卻水） 2、鎢電極直徑為Φ4mm 3、電弧腔體對(duì)樣品的角度和距離可手動(dòng)調(diào)節(jié) 4、起弧電源： 18 V / 185 A 電壓380V 5、熔煉溫度可達(dá)3000℃
	樣品臺(tái)	1、采用水冷銅坩堝 2、可投如樣品量為60g(按鐵計(jì)算)
	提拉機(jī)構(gòu)	1、控制器控制提拉機(jī)構(gòu)的提拉速度，轉(zhuǎn)速和轉(zhuǎn)速 2、提拉速度：0.2-10mm/h 3、提拉行程：0-70mm 4、轉(zhuǎn)速：0-40RPM
	控制單元	1、可顯示和設(shè)置單晶生長(zhǎng)的參數(shù)（起弧電流，提拉桿轉(zhuǎn)速，提拉行程和轉(zhuǎn)速）
	真空泵	1、設(shè)備中配有一分子泵系統(tǒng)（機(jī)械泵+渦旋分子泵） 2、抽氣速率：100L/S 3、可使設(shè)備腔體的真空度達(dá)到10-5Torr(40分鐘內(nèi))
	循環(huán)水冷機(jī)	1、功率：800W 2、水流速度：58L/min 3、制冷能力：5004W（17500Btu/hour） 4、溫度控制：5~30°C
產(chǎn)品規(guī)格	設(shè)備尺寸：800mm（L）800mm（W）1500mm(H)