Turbo-V 2K-G 不僅僅是一臺(tái)泵。它是專(zhuān)門(mén)為等離子濺射工藝精心設(shè)計(jì)的專(zhuān)用分子泵系統(tǒng)。其葉片級(jí)數(shù)和泵的整體結(jié)構(gòu)均經(jīng)過(guò)優(yōu)化，可以工作在高氬氣氛圍下和溫度的環(huán)境中。此外，它還擁有內(nèi)置的控制器件、一體化的放空和充氮?dú)獗Ｗo(hù)閥以及免維護(hù)的軸承。所有這些特點(diǎn)使 Agilent Turbo-V 2K-G 成為鍍膜工業(yè)出色的解決方案。

特性：

1、為薄膜沉積應(yīng)用而專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的分子泵解決方案

2、現(xiàn)有的高性能、緊湊的儀器

3、采用集成的方法很大程度提高系統(tǒng)效率和正常運(yùn)行時(shí)間的渦輪分子泵

4、將渦輪分子泵、驅(qū)動(dòng)器件、電源、MoniTorr、吹掃氣裝置和通信裝置集于一身

5、通用電子器件接口并配有操作簡(jiǎn)單的控制軟件模擬 I/O 信號(hào)以及 RS232/RS485 接口等標(biāo)準(zhǔn)配置

6、安捷倫 Profibus 接口（可選）

7、采用了安捷倫 A-PLUS 軟件（原 T-plus）

渦輪分子泵應(yīng)用范例：

安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵，其設(shè)計(jì)旨在實(shí)際應(yīng)用中達(dá)到更高性能。泵的緊湊型設(shè)計(jì)滿足工業(yè)中的嚴(yán)苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護(hù)，并可避免錯(cuò)誤使用。無(wú)論您是終端用戶還是原始設(shè)備制造商，安捷倫均可針對(duì)您的應(yīng)用為您提供幫助和支持，或定制適合您的需求的系統(tǒng)。

典型渦輪泵應(yīng)用：

領(lǐng)域	詳細(xì)說(shuō)明	應(yīng)用
質(zhì)譜和分析儀器	針對(duì)質(zhì)譜系統(tǒng)優(yōu)化的全系列泵和控制器具有多入口泵組的定制泵低成本、易于使用、高分析性能對(duì)于 GC/MS，提供用于相對(duì)低氣體載荷環(huán)境的 1 個(gè)真空室和用于分析無(wú)機(jī)樣品的中等真空接口對(duì)于 LC/MS，需要提供多室、高通量真空系統(tǒng) 對(duì)于 ICP-MS，提供多種真空系統(tǒng)，包括用于氬氣等重載氣的泵和使用氦氣的碰撞池對(duì)于 TOF 系統(tǒng)，需要較小尺寸、高通量和高效的散熱設(shè)備	質(zhì)譜 GC/MS LC/MS ICP-MS TOF
科研中的真空應(yīng)用	非常清潔、可靠和高性價(jià)比的 HV 和 UHV 粗真空軸承未暴露于 UHV，降低了污染高速和高壓縮可以以任意角度安裝聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體	高能物理融合技術(shù) 一般 UHV 研究同步光源粒子加速器
工業(yè)真空加工	為薄膜沉積應(yīng)用而專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的集成分子泵解決方案適用于原始設(shè)備制造商和終端用戶的專(zhuān)業(yè)性能適用于具有預(yù)真空鎖或大型內(nèi)聯(lián)連續(xù)系統(tǒng)的單室批量系統(tǒng)和多室系統(tǒng)的泵	薄膜沉積：玻璃涂層設(shè)備（建筑和汽車(chē)玻璃，平板顯示器）薄膜太陽(yáng)能電池生產(chǎn)（光電）光學(xué)數(shù)據(jù)介質(zhì)（CD、DVD、磁光光盤(pán)）磁性存儲(chǔ)介質(zhì) 表面處理光學(xué)涂層（眼科、精密光電）膜或箔上的輥式/卷繞涂覆設(shè)備加工：生產(chǎn)電視機(jī)和顯示器顯像管疏散燈（高速公路照明、投影機(jī)） X 射線管和電子設(shè)備一般工藝：真空爐/冶金
納米技術(shù)儀器	分析從有機(jī)化合物到半導(dǎo)體晶片等各類(lèi)物質(zhì) 全系列的高真空和超高真空泵特別適用于要求嚴(yán)苛的 SEM、TEM 和表面分析系統(tǒng) 低振動(dòng)渦旋泵適用于敏感的顯微分析可快速、無(wú)油式排空大型樣品室內(nèi)的氣體集成的泵控制器可靈活進(jìn)行控制，幾乎不生成電磁噪音非常適合為半導(dǎo)體生產(chǎn)創(chuàng)造合適環(huán)境高轉(zhuǎn)速確保能夠以高泵速抽空半導(dǎo)體生產(chǎn)中釋放的輕質(zhì)氣體（He、H）符合高速循環(huán)應(yīng)用的嚴(yán)格要求，例如真空裝載鎖通過(guò)對(duì)多個(gè)渦旋泵聯(lián)用一個(gè)前級(jí)泵，可提高工具的可靠性聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體安裝于支架上的控制器或一體式控制器允許將電子設(shè)備放置于遠(yuǎn)處	電子顯微鏡（SEM、TEM）聚焦離子束系統(tǒng) (FIB) 表面分析半導(dǎo)體制造

技術(shù)規(guī)格：

抽速：	N₂：1600 L/s	??
壓縮比：	N₂：3 × 10⁵
*極限真空（使用推薦的前級(jí)泵）**	< 1 × 10^-8 mbar
入口法蘭	ISO 250F
前級(jí)管道法蘭	KF 40 NW
額定轉(zhuǎn)速	33000 rpm
啟動(dòng)時(shí)間	< 7 分鐘
推薦的前級(jí)泵	> 40 m³/h
工作位置	任意位置
操作環(huán)境溫度	+5 °C 至 +40 ℃
電源輸入電壓輸入頻率	100–240 Vac 50-60 Hz
通訊接口	模擬 I/O RS232/RS485 Profibus	標(biāo)準(zhǔn) 標(biāo)準(zhǔn) 可選
尺寸	高度重量直徑	335 mm（13.18 英寸） 335 mm（13.18 英寸） 35 kg（77 磅）