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杭州庚雨儀器有限公司


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Turbo-V 1K-G渦輪分子泵

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產(chǎn)品型號(hào)Turbo-V 1K-G

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更新時(shí)間:2024-05-19 09:50:30瀏覽次數(shù):101次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Turbo-V1K-G不僅是一臺(tái)泵

詳細(xì)介紹

Turbo-V 1K-G 不僅是一臺(tái)泵。該裝置是專(zhuān)門(mén)為薄膜沉積設(shè)備精心設(shè)計(jì)的專(zhuān)用分子泵系統(tǒng)。其葉片級(jí)數(shù)和泵的整體結(jié)構(gòu)均經(jīng)過(guò)優(yōu)化,可以在高流速的氬氣氛圍下和溫度的環(huán)境中工作。另外,可通過(guò)遠(yuǎn)程機(jī)架控制器或泵機(jī)一體式控制器來(lái)驅(qū)動(dòng)泵。所有這些特點(diǎn)使 Agilent Turbo-V 2K-G 成為鍍膜工業(yè)出色的解決方案。

1、為薄膜沉積應(yīng)用而專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的分子泵解決方案

2、極快的抽速和高氣體通量

3、耐用型的設(shè)計(jì)和高效運(yùn)行的冷卻系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)連續(xù)運(yùn)行

4、能夠保護(hù)軸承的氣體吹掃

5、機(jī)架式 Navigator 控制器的樣品架類(lèi)型

6、通用電子器件接口和操作簡(jiǎn)單的控制軟件

7、模擬 I/O 信號(hào)和 RS232/RS485 接口(為標(biāo)準(zhǔn)Agilent Profibus 接口選項(xiàng))

渦輪分子泵應(yīng)用范例

安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵,其設(shè)計(jì)旨在實(shí)際應(yīng)用中達(dá)到更高性能。泵的緊湊型設(shè)計(jì)滿足工業(yè)中的嚴(yán)苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護(hù),并可避免錯(cuò)誤使用。無(wú)論您是終端用戶還是原始設(shè)備制造商,安捷倫均可針對(duì)您的應(yīng)用為您提供幫助和支持,或定制適合您的需求的系統(tǒng)。

典型渦輪泵應(yīng)用

領(lǐng)域 詳細(xì)說(shuō)明 應(yīng)用
質(zhì)譜和分析儀器
  • 針對(duì)質(zhì)譜系統(tǒng)優(yōu)化的全系列泵和控制器
  • 具有多入口泵組的定制泵
  • 低成本、易于使用、高分析性能
  • 對(duì)于 GC/MS,提供用于相對(duì)低氣體載荷環(huán)境的 1 個(gè)真空室和用于分析無(wú)機(jī)樣品的中等真空接口
  • 對(duì)于 LC/MS,需要提供多室、高通量真空系統(tǒng)
  • 對(duì)于 ICP-MS,提供多種真空系統(tǒng),包括用于氬氣等重載氣的泵和使用氦氣的碰撞池
  • 對(duì)于 TOF 系統(tǒng),需要較小尺寸、高通量和高效的散熱設(shè)備
  • 質(zhì)譜
  • GC/MS
  • LC/MS
  • ICP-MS
  • TOF
科研中的真空應(yīng)用
  • 非常清潔、可靠和高性價(jià)比的 HV 和 UHV
  • 粗真空軸承未暴露于 UHV,降低了污染
  • 高速和高壓縮
  • 可以以任意角度安裝
  • 聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
  • 高能物理
  • 融合技術(shù)
  • 一般 UHV 研究
  • 同步光源粒子加速器
工業(yè)真空加工
  • 為薄膜沉積應(yīng)用而專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的集成分子泵解決方案
  • 適用于原始設(shè)備制造商和終端用戶的專(zhuān)業(yè)性能
  • 適用于具有預(yù)真空鎖或大型內(nèi)聯(lián)連續(xù)系統(tǒng)的單室批量系統(tǒng)和多室系統(tǒng)的泵

薄膜沉積:

  • 玻璃涂層設(shè)備(建筑和汽車(chē)玻璃,平板顯示器)
  • 薄膜太陽(yáng)能電池生產(chǎn)(光電)
  • 光學(xué)數(shù)據(jù)介質(zhì)(CD、DVD、磁光光盤(pán))
  • 磁性存儲(chǔ)介質(zhì)
  • 表面處理
  • 光學(xué)涂層(眼科、精密光電)
  • 膜或箔上的輥式/卷繞涂覆

設(shè)備加工:

  • 生產(chǎn)電視機(jī)和顯示器顯像管
  • 疏散燈(高速公路照明、投影機(jī))
  • X 射線管和電子設(shè)備

一般工藝:

  • 真空爐/冶金
納米技術(shù)儀器
  • 分析從有機(jī)化合物到半導(dǎo)體晶片等各類(lèi)物質(zhì)
  • 全系列的高真空和超高真空泵特別適用于要求嚴(yán)苛的 SEM、TEM 和表面分析系統(tǒng)
  • 低振動(dòng)渦旋泵適用于敏感的顯微分析
  • 可快速、無(wú)油式排空大型樣品室內(nèi)的氣體
  • 集成的泵控制器可靈活進(jìn)行控制,幾乎不生成電磁噪音
  • 非常適合為半導(dǎo)體生產(chǎn)創(chuàng)造合適環(huán)境
  • 高轉(zhuǎn)速確保能夠以高泵速抽空半導(dǎo)體生產(chǎn)中釋放的輕質(zhì)氣體(He、H)
  • 符合高速循環(huán)應(yīng)用的嚴(yán)格要求,例如真空裝載鎖
  • 通過(guò)對(duì)多個(gè)渦旋泵聯(lián)用一個(gè)前級(jí)泵,可提高工具的可靠性
  • 聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
  • 安裝于支架上的控制器或一體式控制器允許將電子設(shè)備放置于遠(yuǎn)處
  • 電子顯微鏡(SEM、TEM)
  • 聚焦離子束系統(tǒng) (FIB)
  • 表面分析
  • 半導(dǎo)體制造

技術(shù)規(guī)格

抽速:
ISO 160:
ISO 200:

Ar:750 L/s
Ar:1040 L/s

N2:810 L/s
N2:1080 L/s

He:950 L/s/
He:1150 L/s

H2:680 L/s
H2:730 L/s
壓縮比: Ar:5 × 108 N2:5 × 107 He:4 × 104 H2 1.5 × 104
極限真空*(使用推薦的前級(jí)泵) < 1 × 10-10 mbar
入口法蘭 ISO 160F,ISO 200F
前級(jí)管道法蘭
ISO 160:
ISO 200:
KF 25 NW
KF 40 NW
額定轉(zhuǎn)速 45500 rpm
啟動(dòng)時(shí)間 < 5 分鐘
推薦的最小前級(jí)泵 > 20 m3/h (TriScroll 600, DS 602)
工作位置 任意位置
操作環(huán)境溫度 +5 °C 至 +35 °C
烘烤溫度
入口法蘭溫度 80 ℃(ISO 法蘭)
振動(dòng)參數(shù)(位移)
在入口法蘭處小于 0.01 μm
冷卻要求
電源
輸入電壓:100-240 Vac
運(yùn)行功率:
< 輸入頻率:50-60 Hz
使用氮?dú)夂洼p質(zhì)氣體(水冷設(shè)置)時(shí)為 400 W
使用氬氣(風(fēng)冷設(shè)置)時(shí)為 260 W
輸入功率:600 VA 待機(jī)功率:30 至 35 W
保險(xiǎn)絲(Navigator 控制器) 1 × 6.3 A
串行通信(Navigator 套件) RS232 電纜,9 針 D 型 外插頭和 9 針 D 型插口,以及 Navigator 軟件(可選)
儲(chǔ)存溫度 -20 °C 至 +70 °C
重量
26.8 kg(59.1 磅)

* 根據(jù)德國(guó)工業(yè)標(biāo)準(zhǔn) (DIN) 28 428。

Turbo-V 1K-G 外形圖

Turbo-V 1K-G 抽速與入口壓力關(guān)系圖

Turbo-V 1K-G 壓縮比與前級(jí)壓力關(guān)系圖


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