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杭州庚雨儀器有限公司


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Turbo-V 2300 TwisTorr渦輪分子泵

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產(chǎn)品型號(hào)Turbo-V 2300 TwisTorr

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更新時(shí)間:2024-05-19 09:51:51瀏覽次數(shù):92次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Turbo-V2300TwisTorr泵擁有同類產(chǎn)品中更快的N2 抽速

詳細(xì)介紹

Turbo-V 2300 TwisTorr 泵擁有同類產(chǎn)品中更快的 N2 抽速。該泵采用的 Twistorr 技術(shù),是小分子氣體壓縮比更高的渦輪分子泵。該泵專為科研應(yīng)用設(shè)計(jì),并且采用專用全顯示機(jī)架控制器進(jìn)行操作。由于能耐受很高的前級(jí)壓力,該泵可采用安捷倫 TS600 等經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的小型干式渦旋泵作為前級(jí)泵。

特性

1.Turbo-V2300解決方案包括獨(dú)立式泵和機(jī)架式顯示控制單元

2.的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)與TwisTorr技術(shù)相結(jié)合,可減少泵的級(jí)數(shù)

3.的整體型轉(zhuǎn)子可減少材料應(yīng)力并改善組裝件容差

4.電機(jī)可縮短啟動(dòng)時(shí)間并在氣體負(fù)荷變化情況下提高泵的穩(wěn)定性

5.熱耗散更低,真空性能更高

6.的水冷系統(tǒng)

7.優(yōu)化的風(fēng)冷系統(tǒng)

8.潔凈的免維護(hù)真空

9.采用了安捷倫A-PLUS軟件(原T-plus)

渦輪分子泵應(yīng)用范例

安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵,其設(shè)計(jì)旨在實(shí)際應(yīng)用中達(dá)到更高性能。泵的緊湊型設(shè)計(jì)滿足工業(yè)中的嚴(yán)苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護(hù),并可避免錯(cuò)誤使用。無論您是終端用戶還是原始設(shè)備制造商,安捷倫均可針對(duì)您的應(yīng)用為您提供幫助和支持,或定制適合您的需求的系統(tǒng)。

典型渦輪泵應(yīng)用

領(lǐng)域 詳細(xì)說明 應(yīng)用
質(zhì)譜和分析儀器
  • 針對(duì)質(zhì)譜系統(tǒng)優(yōu)化的全系列泵和控制器
  • 具有多入口泵組的定制泵
  • 低成本、易于使用、高分析性能
  • 對(duì)于 GC/MS,提供用于相對(duì)低氣體載荷環(huán)境的 1 個(gè)真空室和用于分析無機(jī)樣品的中等真空接口
  • 對(duì)于 LC/MS,需要提供多室、高通量真空系統(tǒng)
  • 對(duì)于 ICP-MS,提供多種真空系統(tǒng),包括用于氬氣等重載氣的泵和使用氦氣的碰撞池
  • 對(duì)于 TOF 系統(tǒng),需要較小尺寸、高通量和高效的散熱設(shè)備
  • 質(zhì)譜
  • GC/MS
  • LC/MS
  • ICP-MS
  • TOF
科研中的真空應(yīng)用
  • 非常清潔、可靠和高性價(jià)比的 HV 和 UHV
  • 粗真空軸承未暴露于 UHV,降低了污染
  • 高速和高壓縮
  • 可以以任意角度安裝
  • 聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
  • 高能物理
  • 融合技術(shù)
  • 一般 UHV 研究
  • 同步光源粒子加速器
工業(yè)真空加工
  • 為薄膜沉積應(yīng)用而專門設(shè)計(jì)的集成分子泵解決方案
  • 適用于原始設(shè)備制造商和終端用戶的專業(yè)性能
  • 適用于具有預(yù)真空鎖或大型內(nèi)聯(lián)連續(xù)系統(tǒng)的單室批量系統(tǒng)和多室系統(tǒng)的泵

薄膜沉積:

  • 玻璃涂層設(shè)備(建筑和汽車玻璃,平板顯示器)
  • 薄膜太陽(yáng)能電池生產(chǎn)(光電)
  • 光學(xué)數(shù)據(jù)介質(zhì)(CD、DVD、磁光光盤)
  • 磁性存儲(chǔ)介質(zhì)
  • 表面處理
  • 光學(xué)涂層(眼科、精密光電)
  • 膜或箔上的輥式/卷繞涂覆

設(shè)備加工:

  • 生產(chǎn)電視機(jī)和顯示器顯像管
  • 疏散燈(高速公路照明、投影機(jī))
  • X 射線管和電子設(shè)備

一般工藝:

  • 真空爐/冶金
納米技術(shù)儀器
  • 分析從有機(jī)化合物到半導(dǎo)體晶片等各類物質(zhì)
  • 全系列的高真空和超高真空泵特別適用于要求嚴(yán)苛的 SEM、TEM 和表面分析系統(tǒng)
  • 低振動(dòng)渦旋泵適用于敏感的顯微分析
  • 可快速、無油式排空大型樣品室內(nèi)的氣體
  • 集成的泵控制器可靈活進(jìn)行控制,幾乎不生成電磁噪音
  • 非常適合為半導(dǎo)體生產(chǎn)創(chuàng)造合適環(huán)境
  • 高轉(zhuǎn)速確保能夠以高泵速抽空半導(dǎo)體生產(chǎn)中釋放的輕質(zhì)氣體(He、H)
  • 符合高速循環(huán)應(yīng)用的嚴(yán)格要求,例如真空裝載鎖
  • 通過對(duì)多個(gè)渦旋泵聯(lián)用一個(gè)前級(jí)泵,可提高工具的可靠性
  • 聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
  • 安裝于支架上的控制器或一體式控制器允許將電子設(shè)備放置于遠(yuǎn)處
  • 電子顯微鏡(SEM、TEM)
  • 聚焦離子束系統(tǒng) (FIB)
  • 表面分析
  • 半導(dǎo)體制造

技術(shù)規(guī)格
真空性能

N2 抽速 (*)
N2:2050 L/s

He 抽速 (*) N2:1800 L/s
H2 抽速 (*) 1500 L/s
N2 壓縮比 > 8 × 108
He 壓縮比 8 × 105
H2 壓縮比 4 × 104
極限真空*(使用推薦的前級(jí)泵) 10-10 mbar (7.5 x 10-11 Torr) (**)
N2 前級(jí)壓力 4 mbar
入口法蘭 ISO 250F,CFF 12 英寸(外徑)
前級(jí)管道法蘭 KF 40 NW
其他
額定轉(zhuǎn)速

33300 rpm

使用推薦前級(jí)泵,無氣體負(fù)載的啟動(dòng)時(shí)間 < 6 分鐘
H2 抽速 (*) 1500 L/s
推薦的最小前級(jí)泵 TriScroll 600
工作位置 垂直/倒立
操作環(huán)境溫度 +5 °C 至 +35 °C
烘烤溫度 120 °C (CFF),80 °C (ISO)
轉(zhuǎn)子溫度 120 °C
振動(dòng)參數(shù)(位移) 在入口法蘭處小于 0.01 μm
潤(rùn)滑油 性潤(rùn)滑
冷卻要求
冷卻水 建議流速:200 L/h 溫度:+15 °C 至 +30 °C 壓力:3 至 5 bar(45 至 75 psi)
噪音水平 1 米內(nèi)小于 60 dB(A)
儲(chǔ)存溫度 -20 °C 至 +70 °C
環(huán)境保護(hù) IP54
重量 ISO 250:54.2 kg(119.5 磅) CFF 12 英寸:55.3 kg(121.9 磅)
(*):無濾網(wǎng)
(*):根據(jù)德國(guó)工業(yè)標(biāo)準(zhǔn) (DIN) 28 428,在烘烤的無泄漏的測(cè)試罩中,用渦輪泵連接一個(gè) CFF 法蘭,并采用推薦的前級(jí)泵,抽取 48 小后,測(cè)試罩內(nèi)部測(cè)得的真空度
稱作極限真空
控制器性能指標(biāo)
輸入電壓

100-120 VAC,220-240 Vac,1 相

輸入頻率 50-60 Hz
輸入功率 1300 VA
輸出電壓 64 Vac
輸出頻率 555 Hz
啟動(dòng)時(shí)的輸出功率 560 W
額定輸出功率 450 W
重量(兩種型號(hào)) 12.5 kg(28 磅)
安裝類別 II
污染等級(jí) 2

Turbo-V 2300 TwisTorr 外形圖

Turbo-V 2300 TwisTorr 抽速與入口壓力關(guān)系圖

Turbo-V 2300 TwisTorr 壓縮比與前級(jí)壓力關(guān)系圖

Turbo-V 2300 TwisTorr 泵技術(shù)規(guī)格


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