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杭州庚雨儀器有限公司


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Turbo-V 1001 Navigator渦輪分子泵

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產(chǎn)品型號Turbo-V 1001 Navigator

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時間:2024-05-19 09:54:56瀏覽次數(shù):75次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:678條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

Turbo-V1001Navigator泵提供從790至1050L/s(視氣體而定)的抽速,并且采用Navigator產(chǎn)品線中的技術(shù)

詳細介紹

Turbo-V 1001 Navigator 泵提供從 790 至 1050 L/s(視氣體而定)的抽速,并且采用 Navigator 產(chǎn)品線中的技術(shù)。安捷倫渦輪分子泵經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計,可以在低壓強內(nèi)實現(xiàn)高壓縮比,在大抽氣量和高前級壓強時實現(xiàn)高強的壓差。該泵無油、無污染,并且具有非常低的故障率,可以在任何位置任意角度安裝而不對材料施加應(yīng)力。典型的平均故障時間 (MTTF) 大于 250000 小時。渦輪分子泵的應(yīng)用范圍包括高能物理和研究、納米技術(shù)、質(zhì)譜技術(shù)、工業(yè)真空加工和半導(dǎo)體,并可用作掃描電子顯微鏡 (SEM) 的專用泵。

特性:

1.功耗更低、性能更佳

2.通過減少發(fā)熱而節(jié)能,并提高可靠性

3.為風冷而優(yōu)化的冷卻翅片

4.通過降低工作溫度進一步提高可靠性

5.Turbo-V 81-M MacroTorr 泵具有優(yōu)化的幾何尺寸

6.功率要求低,前級耐壓高及可承受高氣載

7.可拆卸的前級連接器

8.可連接各種前級泵

9.冷卻方式靈活(風冷或水冷)

10.采用安捷倫 A-PLUS 軟件(原 T-plus 軟件)

典型渦輪泵應(yīng)用:

安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵,其設(shè)計旨在實際應(yīng)用中達到更高性能。泵的緊湊型設(shè)計滿足工業(yè)中的嚴苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護,并可避免錯誤使用。無論您是終端用戶還是原始設(shè)備制造商,安捷倫均可針對您的應(yīng)用為您提供幫助和支持,或定制適合您的需求的系統(tǒng)。

典型渦輪泵應(yīng)用

領(lǐng)域 詳細說明 應(yīng)用
質(zhì)譜和分析儀器
  • 針對質(zhì)譜系統(tǒng)優(yōu)化的全系列泵和控制器
  • 具有多入口泵組的定制泵
  • 低成本、易于使用、高分析性能
  • 對于 GC/MS,提供用于相對低氣體載荷環(huán)境的 1 個真空室和用于分析無機樣品的中等真空接口
  • 對于 LC/MS,需要提供多室、高通量真空系統(tǒng)
  • 對于 ICP-MS,提供多種真空系統(tǒng),包括用于氬氣等重載氣的泵和使用氦氣的碰撞池
  • 對于 TOF 系統(tǒng),需要較小尺寸、高通量和高效的散熱設(shè)備
  • 質(zhì)譜
  • GC/MS
  • LC/MS
  • ICP-MS
  • TOF
科研中的真空應(yīng)用
  • 非常清潔、可靠和高性價比的 HV 和 UHV
  • 粗真空軸承未暴露于 UHV,降低了污染
  • 高速和高壓縮
  • 可以以任意角度安裝
  • 聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
  • 高能物理
  • 融合技術(shù)
  • 一般 UHV 研究
  • 同步光源粒子加速器
工業(yè)真空加工
  • 為薄膜沉積應(yīng)用而專門設(shè)計的集成分子泵解決方案
  • 適用于原始設(shè)備制造商和終端用戶的專業(yè)性能
  • 適用于具有預(yù)真空鎖或大型內(nèi)聯(lián)連續(xù)系統(tǒng)的單室批量系統(tǒng)和多室系統(tǒng)的泵

薄膜沉積:

  • 玻璃涂層設(shè)備(建筑和汽車玻璃,平板顯示器)
  • 薄膜太陽能電池生產(chǎn)(光電)
  • 光學(xué)數(shù)據(jù)介質(zhì)(CD、DVD、磁光光盤)
  • 磁性存儲介質(zhì)
  • 表面處理
  • 光學(xué)涂層(眼科、精密光電)
  • 膜或箔上的輥式/卷繞涂覆

設(shè)備加工:

  • 生產(chǎn)電視機和顯示器顯像管
  • 疏散燈(高速公路照明、投影機)
  • X 射線管和電子設(shè)備

一般工藝:

  • 真空爐/冶金
納米技術(shù)儀器
  • 分析從有機化合物到半導(dǎo)體晶片等各類物質(zhì)
  • 全系列的高真空和超高真空泵特別適用于要求嚴苛的 SEM、TEM 和表面分析系統(tǒng)
  • 低振動渦旋泵適用于敏感的顯微分析
  • 可快速、無油式排空大型樣品室內(nèi)的氣體
  • 集成的泵控制器可靈活進行控制,幾乎不生成電磁噪音
  • 非常適合為半導(dǎo)體生產(chǎn)創(chuàng)造合適環(huán)境
  • 高轉(zhuǎn)速確保能夠以高泵速抽空半導(dǎo)體生產(chǎn)中釋放的輕質(zhì)氣體(He、H)
  • 符合高速循環(huán)應(yīng)用的嚴格要求,例如真空裝載鎖
  • 通過對多個渦旋泵聯(lián)用一個前級泵,可提高工具的可靠性
  • 聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
  • 安裝于支架上的控制器或一體式控制器允許將電子設(shè)備放置于遠處
  • 電子顯微鏡(SEM、TEM)
  • 聚焦離子束系統(tǒng) (FIB)
  • 表面分析
  • 半導(dǎo)體制造

技術(shù)規(guī)格:

抽速:
ISO 160:
CFF 10 英寸或 ISO 200:
ISO 250:
N2:790 L/s
N2:950 L/s
N2:1050 L/s
He:820 L/s
He:870 L/s
He:900 L/s
H2:860 L/s
H2:900 L/s
H2:920 L/s
壓縮比: ISO 160 N2:1 × 109 He:1 × 107 H2:1 × 106
極限真空*(使用推薦的前級泵) < 1 × 10–10 mbar (< 1 × 10–10 Torr)
抽氣口法蘭 ISO 160 ISO 200 ISO 200-F 螺栓 CFF 10 英寸 ISO 250 ISO 250-F 螺栓
前級管道法蘭 KF 40
轉(zhuǎn)速 38,000 rpm
啟動時間 小于 4 分鐘
推薦的前級泵 機械:Agilent DS 402 旋渦式干泵:Agilent TS300,IDP-15
工作位置 任意
冷卻要求 強制通風或水冷
烘烤溫度
抽氣口法蘭溫度 120 °C(CF 法蘭)
抽氣口法蘭溫度 80 ℃(ISO 法蘭)
振動參數(shù)(位移) 在抽氣口法蘭處小于 0.01 μm
重量 kg(磅):
ISO 160 法蘭
ISO 200 法蘭
CF 10 英寸法蘭
ISO 250 法蘭
ISO 200-F 和 250-F 螺栓法蘭,CF 10 英寸法蘭
19 (41.8)
19.4 (43.0)
25.5 (54.2)
21.2 (46.6)
25.5 (54.2)

* 根據(jù)標準 DIN 28 428。
可選 Navigator 泵機一體控制器、? 架裝控制器或者 PCB 控制器;
關(guān)于控制器的更多信息,請查看以下頁面。

Turbo-V 1001 Navigator 訂購詳情

Turbo-V 1001 Navigator 外形圖

Turbo-V 1001 Navigator 抽速與進氣口壓力關(guān)系

Turbo-V 1001 Navigator 壓縮比與前級壓力關(guān)系


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