D-600 臺階儀/探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的二維三維測量

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產(chǎn)品型號Alpha-Step D-600

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更新時間：2023-07-06 15:03:13瀏覽次數(shù)：263次

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上海納嘉儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

探針式輪廓儀/臺階儀/Alpha-StepD-600StylusProfilerAlpha-StepD-600探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到1200微米的臺階高度測量與三維形貌測量

詳細介紹

探針式輪廓儀/臺階儀/Alpha-Step D-600 Stylus Profiler
Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到1200微米的臺階高度測量與三維形貌測量。D-600還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和薄膜應力的測量。 D-600配置200毫米自動移動樣品臺與*的Keystone矯正的輔助光學系統(tǒng)

產(chǎn)品描述
Alpha-Step D-600探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的二維與三維測量，以及翹曲度和薄膜應力的測量。創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量，大范圍測量與超微力測量于一體的功能。

探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點是它是一種直接測量，與材料特性無關(guān)。可調(diào)節(jié)的探針壓力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進行精確測量。通過測量粗糙度和應力，可以對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。

主要功能
臺階高度：幾納米至1200μm

低觸力：至15mg

視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭

梯形失真校正：消除側(cè)視光學系統(tǒng)引起的失真

圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差

緊湊尺寸：占地面積小

軟件：用戶友好的軟件界面

主要應用
臺階高度：2D臺階高度和3D臺階高度

紋理：2D粗糙度和波紋度

形式：2D翹曲和形狀

應力：2D薄膜應力