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錦州陽(yáng)光氣象科技有限公司


YG-E1型多角度激光橢偏儀

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

多角度激光橢偏儀使用632.8nm波長(zhǎng)HeNe激光器,對(duì)測(cè)量薄膜厚度,折射率和吸收系數(shù)有非常出色的精度。儀器能夠分析單層膜,多層膜和大塊材料(基底)。

詳細(xì)介紹

一、概述

多角度激光橢偏儀使用632.8nm波長(zhǎng)HeNe激光器,對(duì)測(cè)量薄膜厚度,折射率和吸收系數(shù)有非常出色的精度。儀器能夠分析單層膜,多層膜和大塊材料(基底)。

二、規(guī)格

1、激光波長(zhǎng):632.8nm;

2、150mm(z-tilt)載物臺(tái);

3、入射角度可調(diào),步進(jìn)5°;

4、自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)鏡/顯微鏡,用于樣品校準(zhǔn);

5、Small footprint;

6、以太網(wǎng)接口連接到PC。

三、產(chǎn)品特點(diǎn)

1、超高精度和穩(wěn)定性,,來源于高穩(wěn)定激光光源、溫度穩(wěn)定補(bǔ)償器設(shè)置、起偏器跟蹤和超低噪聲探測(cè)器。

2、高精度樣品校準(zhǔn),使用光學(xué)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)鏡和顯微鏡。

3、快速簡(jiǎn)易測(cè)量,可選擇不同的應(yīng)用模型和入射角度。

4、多角度測(cè)量,可支持復(fù)雜應(yīng)用和精確厚度。

5、全面預(yù)設(shè)應(yīng)用,包含微電子、光電、磁存儲(chǔ)、生命科學(xué)等領(lǐng)域。

四、技術(shù)指標(biāo)

1、波長(zhǎng):632.8nm氦氖激光器。

2、長(zhǎng)期穩(wěn)定性:d(y)=±0.01°;d(D)=±0.1°。

3、折射率測(cè)量精度:5×10^-4for 100nm SiO2 on Si。

4、弱吸光性薄膜厚度范圍(多晶硅):2μm。

5、測(cè)量時(shí)間:120ms~1.5s(決定于測(cè)量方式)。

6、入射角:手動(dòng)角度計(jì)40°~90°,步進(jìn)值5°。

7、選項(xiàng):360°旋轉(zhuǎn)單元;真空吸盤;x-y地形圖掃描載物臺(tái)。

8、90°位置時(shí)y,D精度:d(y)=±0.002°;d(D)=±0.002°。

9、膜厚測(cè)量精度:0.1Å for 100nm SiO2 on Si。

10、透明薄膜的厚度范圍:4μm。

11、膜層數(shù)量默認(rèn):在基底或多層膜上的1-3層膜。

12、激光束直徑:1mm。

13、樣品載物臺(tái):可調(diào)節(jié)高度和角度的樣品臺(tái),150mm直徑。

14、設(shè)置:高穩(wěn)定性補(bǔ)償器,可得到0°和180°附近D的高精確度電腦控制的起偏器,定位/探測(cè),自動(dòng)校準(zhǔn)高穩(wěn)定旋轉(zhuǎn)分析器。

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