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蘇州佐藤精密儀器有限公司


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超高分辨熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

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更新時間:2022-10-18 14:51:47瀏覽次數(shù):211次

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產(chǎn)品簡介

超高分辨熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

詳細介紹

儀器簡介:

      JSM-7600F是日本電子株式會社2008年下半年推出的兼顧冷場的高分辨率和熱場大束流為一體的熱場發(fā)射掃描電鏡,它幾乎集成了當今掃描電鏡的全部前沿技術(shù),200nA的大電流在保證高分辨率的同時,得到高速樣品分析結(jié)果,空間分辨率,對導(dǎo)電性差的樣品也有很多解決辦法。JSM-7600F自動化程度高,操作直觀方便,可以稱得上是一款高檔次的場發(fā)射掃描電鏡。日本電子株式會社各地事務(wù)所。

技術(shù)參數(shù):

1.分辨率:1.0nm(15kV)/1.3nm(1kV)
2.加速電壓:0.1KV-30kV
3.放大倍數(shù):25-100萬倍
4.樣品室尺寸:200mm直徑樣品
5.束流強度:1pA到200nA

主要特點:

  1. 長壽命高亮度電子槍,壽命保3年,電流400nA以上

  2. 兼顧超高分辨和大電流

  3. 無漏磁和半漏磁物鏡可切換

  4. 標配的五軸馬達驅(qū)動全對中樣品臺

  5. 全自動樣品更換氣鎖

  6. 全自動樣品臺監(jiān)控系統(tǒng)

  7. 全自動物鏡光闌

  8. 多通道顯示系統(tǒng)

  9. 減速系統(tǒng)標準配置

  10. 能量過濾器標準配置

  11. 可以選配1.5nm高分辨LABE背散射電子探頭

  12. 可以選配掃描投射探頭(STEM)

關(guān)鍵詞:監(jiān)控系統(tǒng)
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