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美國(guó)KLA-Tencor AlphaStep臺(tái)階儀膜厚儀探針接觸式輪廓儀

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更新時(shí)間：2022-11-23 15:59:52瀏覽次數(shù)：391次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)單介紹美國(guó)KLA-Tencor AlphaStep臺(tái)階儀膜厚儀探針接觸式輪廓儀 D-300，它廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能薄膜材料、半導(dǎo)體硅片、微電子器件、薄膜化學(xué)涂層、平板顯示器等研究領(lǐng)域。在新型薄膜材料的開(kāi)發(fā)研究工作上極為重要。美國(guó)KLA-Tencor AlphaStep臺(tái)階儀膜厚儀探針接觸式輪廓儀垂直分辨率: 0.38A

詳細(xì)介紹

臺(tái)階儀的工作原理。臺(tái)階儀主要的工作就是測(cè)量，當(dāng)臺(tái)階儀的觸針在被測(cè)的物體表面輕輕滑過(guò)時(shí)，被接觸的物體表面微小的峰谷就會(huì)讓觸針在進(jìn)行滑行的同時(shí)也做一些上下運(yùn)動(dòng)。因此表面輪廓的情況在一定程度上就被觸針的運(yùn)動(dòng)情況所體現(xiàn)出來(lái)。當(dāng)輸出的信號(hào)經(jīng)過(guò)測(cè)量的電橋之后，輸出的信號(hào)與觸針的平衡位子的位移此刻成正比，調(diào)幅的信號(hào)也就隨之出現(xiàn)，經(jīng)過(guò)放大和整流之后，位移信號(hào)就從調(diào)幅信號(hào)中解調(diào)出來(lái)了，信號(hào)就變得相應(yīng)緩慢，半導(dǎo)體厚度測(cè)試臺(tái)階儀，也就能在控制器中被讀出來(lái)。隨之噪音濾波器以及波度濾波器會(huì)對(duì)調(diào)制頻率以及外界的干擾信號(hào)等因素進(jìn)行進(jìn)一步的過(guò)濾，誤差所帶來(lái)的影響也隨之減小。

典型應(yīng)用：太陽(yáng)能電池、太陽(yáng)能集熱器等 PVD(物理氣相沉積)太陽(yáng)能涂層研究，對(duì)薄膜材料常規(guī)性能的檢測(cè)臺(tái)階膜厚儀

它廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能薄膜材料、半導(dǎo)體硅片、微電子器件、薄膜化學(xué)涂層、平板顯示器等研究領(lǐng)域。在新型薄膜材料的開(kāi)發(fā)研究工作上極為重要。

美國(guó)KLA-Tencor公司

在四十年來(lái)半導(dǎo)體及相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展中，KLA-Tencor作為工藝控制領(lǐng)域的者，借助**的光學(xué)技術(shù)、精準(zhǔn)的傳感器系統(tǒng)以及高性能計(jì)算機(jī)信息處理技術(shù)，持續(xù)研發(fā)并不斷完善檢測(cè)、量測(cè)設(shè)備及數(shù)據(jù)智能分析系統(tǒng)。

生產(chǎn)，品牌AlphaStep，型號(hào) D-300臺(tái)階儀

主要產(chǎn)品特性：

1)垂直分辨率: 0.38A

2) Z測(cè)量重復(fù)精度:保證5A重復(fù)性(1um臺(tái)階標(biāo)樣，無(wú)需防震臺(tái)，用2um探針驗(yàn)收)

3)掃描時(shí)*小正壓力: 0.5mg (軟件可編程選擇和自動(dòng)控制,無(wú)需手動(dòng))

4)采樣點(diǎn)數(shù)400,000

5)探針曲率半徑2微米

6)有KLA-Tencor標(biāo)定證書的1um標(biāo)樣一塊

7)斜視光學(xué)系統(tǒng)，500萬(wàn)像素彩色攝像頭Keystone圖像糾正

8)系統(tǒng)配有150x150mm口徑的超大超厚超光滑平晶

9）具有雙向掃描測(cè)量的功能