KALEOMultiWAVE多波長(zhǎng)動(dòng)態(tài)【KALEOMultiWAVE簡(jiǎn)介】在光學(xué)計(jì)量領(lǐng)域持續(xù)創(chuàng)新，推出能夠兼顧測(cè)量透射誤差和反射波前誤差（TWE/RWE）的革命性新產(chǎn)品：KaleoMultiWAVE動(dòng)態(tài)干涉儀

詳細(xì)介紹

KALEO MultiWAVE 多波長(zhǎng)動(dòng)態(tài)

【KALEO MultiWAVE 簡(jiǎn)介】

在光學(xué)計(jì)量領(lǐng)域持續(xù)創(chuàng)新，推出能夠兼顧測(cè)量透射誤差和反射波前誤差（TWE / RWE）的革命性新產(chǎn)品：Kaleo MultiWAVE動(dòng)態(tài)干涉儀。直徑高至5.1英寸（130毫米）的鍍膜和未鍍膜的光學(xué)器件可在其工作波長(zhǎng)下直接進(jìn)行測(cè)量。 Kaleo MultiWAVE是購(gòu)買(mǎi)多臺(tái)干涉儀或特殊波長(zhǎng)干涉儀的有效替代方案，擁有性?xún)r(jià)比。該系統(tǒng)同時(shí)可提供媲美Fizeau干涉儀測(cè)量精度，及動(dòng)態(tài)干涉儀的抗震性能。

【關(guān)于Phasics】

是一家專(zhuān)注于高分辨率傳感技術(shù)的法國(guó)公司。Phasics公司憑借其在測(cè)量方面的專(zhuān)業(yè)經(jīng)驗(yàn)與的波前測(cè)量技術(shù)為客戶(hù)提供全面的高性能。

一、 KALEO MultiWAVE 主要特點(diǎn)

紫外、可見(jiàn)光、近紅外、短波紅外、中遠(yuǎn)紅外等任意多波長(zhǎng)定制
單臺(tái)干涉儀可集成多個(gè)工作波長(zhǎng)
納米級(jí)相位分辨率
超高動(dòng)態(tài)范圍 (>500 條紋數(shù))

二、KALEO MultiWAVE 應(yīng)用

光學(xué)元件及光學(xué)系統(tǒng)計(jì)量

三、KALEO MultiWAVE 測(cè)量案例

四、KALEO MultiWAVE 指標(biāo)參數(shù)(1)

RMS重復(fù)性 (2)	< 0.7="" nm="">< λ="">
測(cè)量精度	80 nm PV (3)
動(dòng)態(tài)范圍（離焦值）	500 fringes (SFE = 150 μm)
可測(cè)反射率范圍	4% - 99%

(1) 四英寸口徑，使用625 nm光源

(2) 在4英寸參考鏡上執(zhí)行36次連續(xù)測(cè)量，每一次測(cè)量使用均化值為16次。參考定義為所有奇數(shù)測(cè)量的平均值。 RMS重復(fù)性定義為RMS平均差值，加上偶數(shù)測(cè)量值與參考之間差值的標(biāo)準(zhǔn)偏差的2倍。

(3) 1 µm PV 離焦像差下