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北京半導體專用設備研究所
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應用領域DS-801A/D自動分選機是IC生產過程中用于將表面質量的管芯從藍膜拾取，并放置到晶粒盒里的一種自動化設備
| 應用領域 DS-801A/D自動分選機是IC生產過程中用于將表面質量的管芯從藍膜拾取，并放置到晶粒盒里的一種自動化設備?？蛇m用多種尺寸的管芯和多種規(guī)格的晶粒盒(Tray盤和JEDECK盤)，并實現了藍膜到藍膜等多種工藝流程。 本機有著合理的結構設計及良好的操作性、穩(wěn)定性、高可靠性。雙工作臺結構實現晶粒盒上下料時設備不停機。 |
技術特點
◎適用于8″及以下晶圓加工;
◎可輸出至2″～4″規(guī)格的晶粒盒(Tray盤);
◎可選單頂針與多頂針模塊，并支持快速更換;
◎支持自動擴膜功能，擴膜行程可控;
◎軟件系統(tǒng)功能強大，運行可靠，支持MAP圖功能;
◎高效視覺檢測系統(tǒng)，可進行芯片識別定位及表面缺陷檢測;
◎支持分類拾揀功能;
◎雙工作臺實現收料不停機。
◎大尺寸JEDECK盤，或到藍膜等其它有特殊要求的治具上
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