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UP10M工業(yè)用超高純氣體純化器

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更新時間：2022-10-07 12:04:01瀏覽次數(shù)：286次

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產(chǎn)品簡介

超高純氣體純化技術是有色金屬研究總院十三五重點產(chǎn)業(yè)化方向

詳細介紹

超高純氣體純化技術是有色金屬研究總院“十三五”重點產(chǎn)業(yè)化方向。在“十二五”期間項目科研成果基礎上研發(fā)的氣體純化材料，具有處理量大、去除雜質(zhì)種類多、吸附深度大、使用壽命長等優(yōu)點，并以此為核心技術開發(fā)出多個型號的惰性氣體、氫氣和氮氣等超高純氣體純化裝置。同時，有研總院自身具備不斷創(chuàng)新的研發(fā)能力，成套的純化材料生產(chǎn)、純化器組裝技術，以及完善的純化器性能測試條件，可根據(jù)用戶需求設計完整解決方案、定制非標產(chǎn)品，并提供各項性能檢測服務，目前產(chǎn)品已應用于理化所、、西南化工研究設計院、北京師范大學、北京航空航天大學、北京科技大學、國家有色金屬材料檢測中心，哈爾濱師范大學等單位獲得應用。
UP10M工業(yè)用超高純氣體純化器采用活性金屬為化學吸附劑，當原料氣通過活性金屬純化床時，氣體中O₂，H₂O，N₂，CO，CO₂，CH₄等雜質(zhì)氣體與活性金屬發(fā)生化學吸附反應，根據(jù)原料氣純度不同，一次純化后出口氣體純度即達到 7N-8N，可實現(xiàn)無人值守全自動運行，并具有實時監(jiān)測、故障報警和反饋等功能。為保證產(chǎn)品質(zhì)量，純化器系統(tǒng)管路連接全部采用 Swagelok 全自動軌道焊機焊接，漏率低于 10^－⁹Pa；關鍵部件焊接、組裝、生產(chǎn)均在千級超凈環(huán)境中進射流沖蝕試驗機便于在各種條件下測定的磨損率。磨損率可以用來確定在給定操作條件的材料。它也可以被用來預測使用壽命和壽命周期成本。

UP系列氣體純化器

UP1L UP10M

委托上海正帆科技公司對 GRINM-UP1L 氬氣純化器性能檢測結(jié)果

氣體類型	H2	O2/Ar	N2	CH4	CO	CO2	H2O	單位
原料氣	0.074	<0.01	0.248	<0.01	<0.01	<0.01	未測試	ppm
純化后	<0.01	<0.01	<0.01	<0.01	<0.01	<0.01	<0.033	ppm

部分用于現(xiàn)場照片：

山西中升鋼廠光譜儀配套UP10M使用現(xiàn)場，分析用氣體純度達到光譜儀檢測所需的的綠色。

北京科技大學CVD設備用的多臺UP1L氬氣純化器

西南化工研究院定制 20MPa/30Nm³ 氬氣純化器

搭載氫氣純化的電解水制氫/在線純化系統(tǒng)，用于人造鉆石生產(chǎn)高純氫場合

UP10M工業(yè)用超高純氣體純化器產(chǎn)品參數(shù)：
l 原料氣純度要求：≥99.999%，He/Ar/H₂ /N₂
l 產(chǎn)品氣純度：≥99.99999%
l 產(chǎn)品氣雜質(zhì)含量：
H₂O ≤5ppb
O₂ ≤10ppb
N₂ ≤10ppb（原料氣非 N₂ ）
H₂ ≤10ppb（原料氣非 H₂ ）
CO ≤10ppb
CO₂ ≤10ppb
CH₄ ≤10ppb
NMHC ≤10ppb
l 工作流量：≤10Nm³ /h，可定制2-30Nm³ /h
l 閥門：EP 級氣動隔膜閥
l 內(nèi)置顆粒過濾器：2 微米
l 顯示屏：組態(tài)控制軟件，觸摸屏工業(yè)計算機控制
l 工作壓力：2.0MPa，氬氣可定制20兆帕高壓
l 出入口氣體壓差：0.2MPa
l 進出氣接口：1/4″VCR
l 純化柱及管路：EP級316不銹鋼
l 管路連接：Swagelok 自動軌道焊接
l 電源電壓及功率：220V-380V，10-20kw
l 產(chǎn)品外形尺寸：500×700×1600mm

氣體純化器是集成電路、LED、太陽能板、光纖、燃料電池等制造工藝中的重要裝備，并可有效提高離子濺射、薄膜生長、焊接、配氣等多項技術的工藝性能。UP10M 工業(yè)用超高純氣體純化器系列主要用于提供工業(yè)生產(chǎn)、分析測試中的超高純度工藝氣、保護氣等，也是氣體配制行業(yè)的關鍵設備之一。

氣體種類	產(chǎn)品用途	應用領域
He	稀釋氣純化	半導體制造業(yè)中光刻、干刻、化學氣相沉積工藝中混合氣
Ar	等離子體氣體、載氣純化	半導體制造業(yè)中干刻蝕、離子注入等工藝中等離子體氣體，直讀光譜儀載氣
N2	稀釋氣、檢漏氣純化	半導體制造業(yè)中稀釋氧化工藝、氣體濃度調(diào)節(jié)、檢漏氣體
H2	還原氣、反應氣純化	IC、LED 等制造業(yè)中外延工藝和擴散工藝氣體