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上海石墨烯專用生長(zhǎng)爐

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更新時(shí)間:2022-10-14 15:08:12瀏覽次數(shù):347次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

石墨烯專用生長(zhǎng)爐 簡(jiǎn)介:石墨烯專用生長(zhǎng)爐由滑動(dòng)開(kāi)啟式真空管式爐,混氣系統(tǒng),真空及壓力系統(tǒng)等組成。通過(guò)滑動(dòng)爐體來(lái)實(shí)現(xiàn)快速的升降溫;配置不同的真空系統(tǒng)來(lái)達(dá)到理想的真空度;同時(shí)通過(guò)三路高精度質(zhì)量流量計(jì)控制不同氣體。

詳細(xì)介紹


石墨烯專用生長(zhǎng)爐由滑動(dòng)開(kāi)啟式真空管式爐,混氣系統(tǒng),真空及壓力系統(tǒng)等組成。通過(guò)滑動(dòng)戶體來(lái)實(shí)現(xiàn)快速的升降溫﹔配置不同的真空系統(tǒng)來(lái)達(dá)到理想的真空度﹔同時(shí)通過(guò)三路高精度質(zhì)量流量計(jì)控制不同氣體。

 

主要用途和適用范圍:

用于石墨烯生長(zhǎng)、研發(fā)的專用爐,也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實(shí)驗(yàn)。

 

技術(shù)參數(shù):

 

爐體結(jié)構(gòu)

 

雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng),有效保證外殼表面溫;

*真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好爐子底部裝有一對(duì)滑軌,移動(dòng)平穩(wěn)

爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端,實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻支撐兩端安裝油壓緩沖器

爐蓋可開(kāi)啟,可以實(shí)時(shí)觀察加熱的物料

 

電源

 

電壓:AC220V 50/60Hz;功率:4kw

 

爐管

 

高純石英管,高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng),耐腐蝕,熱膨脹系數(shù)極小

尺寸:40/60/80/100*1200mm

 

法蘭及支撐

 

sUS304不銹鋼快速法蘭,通過(guò)用高溫“O"型圈緊密密封可獲得高真空一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷

可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐

包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合

 

加熱系統(tǒng)

 

加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27AI7Mo2,表面負(fù)荷高、經(jīng)久耐用加熱區(qū)長(zhǎng)度:410mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度:200mm

工作溫度:1150℃溫度:1200t℃升溫速率:10/min

溫度:1200℃升溫速率:10/min

 

溫控系統(tǒng)

 

溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能30段升降溫程序

測(cè)溫元件:N型熱電偶恒溫精度:±1

 

混氣系統(tǒng)

 

三路質(zhì)量流量計(jì):數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制內(nèi)置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥管路采用不銹鋼管,接口為中6卡套

每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥通過(guò)控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量流量規(guī)格:0~1SLM

流量精度:±0.5%

 

真空系統(tǒng)

 

采用雙極旋片真空泵,真空度可達(dá)5x10-1 Torr

數(shù)顯式真空壓力表

可選高真空系統(tǒng)及真空計(jì),壓力控制系統(tǒng)等

 

標(biāo)準(zhǔn)配置

 

主機(jī)1臺(tái),密封法蘭1套,“O""型圈4個(gè),石英管1根,管堵4個(gè),紺蝸鉤1把,

說(shuō)明書(shū)、合格證、保修卡各1

 

可選配件

 

混氣系統(tǒng)中、高真空系統(tǒng),各種剛玉、石英紺蝸,石英管,計(jì)算機(jī)控制軟件,無(wú)紙記錄儀,氧含量分析儀等。





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