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BPG402-Sx 大氣壓至超高真空真空計(jì)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

BPG402-Sx 大氣壓至超高真空真空計(jì)

詳細(xì)介紹

好處

從 5 x 10^-10 mbar 至大氣氣壓（3.8 x 10^{-10^{Torr 至大氣氣壓）的極其寬泛的測(cè)量范圍}}
在 10^-8 … 10^-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內(nèi)為表現(xiàn)出優(yōu)秀的重復(fù)性
皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)絲極，防止過(guò)早燒毀
雙長(zhǎng)使用壽命氧化釔銥絲
備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場(chǎng)總線接口
高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié)，減少操作員的干預(yù)
傳感元件帶有板載校準(zhǔn)數(shù)據(jù)，易于更換，可保證高再現(xiàn)性
符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

典型應(yīng)用

對(duì)半導(dǎo)體過(guò)程和傳輸腔室的壓力測(cè)量
工業(yè)鍍膜
低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制

新聞

新！ 現(xiàn)在提供 EtherCAT 數(shù)字接口！

規(guī)格

類型		BPG402-S
測(cè)量范圍（空氣、O₂、CO、N₂）		5×10^-10 … 1000
精度
10^-8 … 10^-2 毫巴	% of reading	±15
可重復(fù)性
10^-8 … 10^-2 毫巴	% of reading	5
除氣 (1)
p < 7.2="" ×="">^-6	mbar	electron bombardment, max. 3 min
壓力，	bar (absolute)	2
溫度
運(yùn)行（環(huán)境）	°C	0 … +50
貯存	°C	-20 … +70
在法蘭處烘烤，無(wú)電子設(shè)備 BPG402-S	°C	80
無(wú)電子設(shè)備，在法蘭處烘烤 BPG402-SL	°C	150
電源電壓		+20 … +28
輸出信號(hào)模擬
輸出信號(hào)	V	0 … +10
測(cè)量范圍	V	+0.774 … +10
電壓與壓強(qiáng)	volts per decade	0.75
錯(cuò)誤信號(hào)	V	0.1 / 0.3 / 0.5
最小負(fù)載電阻	k?	10
設(shè)定點(diǎn)繼電器
設(shè)定點(diǎn)數(shù)量		1
范圍	mbar	1×10^-9 … 100
繼電器觸點(diǎn)		n.o., potential free
滯后	% of reading	10
觸點(diǎn)額定值		≤30
數(shù)字功能		degas
接口（數(shù)字）(2)		RS232C
發(fā)射控制		automatic / manual via interface
單絲		two Yt₂O₃ coated Ir
單絲狀態(tài)/繼電器		LED / relay
電氣連接		D-Sub, 15-pin, male
電纜長(zhǎng)度， (3)	m (ft.)	100 (330)
暴露于真空的材料		Yt₂O₃, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
內(nèi)部容積 KF / CF	cm³ (in.³)	24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF	g	450 / 710
保護(hù)等級(jí)		IP30
Profibus DP
波特率		9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址		2 switches (address 00 - 127) or network programmable
數(shù)字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
設(shè)定點(diǎn)繼電器：設(shè)定點(diǎn)數(shù)量		2
設(shè)定點(diǎn)繼電器：范圍	mbar	1×10^-9 … 100
設(shè)定點(diǎn)繼電器：繼電器觸點(diǎn)		n.o., potential free
設(shè)定點(diǎn)繼電器：滯后	% of reading	10
設(shè)定點(diǎn)繼電器：觸點(diǎn)額定值		≤30
Profibus DP 連接器		D-Sub, 9-pin, female
CDG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點(diǎn)）連接器		D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™
協(xié)議		DeviceNet™, group 2 slave only
數(shù)據(jù)率開(kāi)關(guān)	kBaud	125, 250, 500 or network programmable
電纜長(zhǎng)度 125 kbps	m (ft.)	500 (1650)
電纜長(zhǎng)度 250 kbps	m (ft.)	250 (825)
電纜長(zhǎng)度 500 kbps	m (ft.)	100 (330)
MAC ID		2 switches (address 00 - 63) or network programmable
數(shù)字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
技術(shù)規(guī)格		DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
設(shè)備類型		''CG'' for combination gauge
I / O 從屬傳訊		polling only
設(shè)定點(diǎn)繼電器：設(shè)定點(diǎn)數(shù)量		2
設(shè)定點(diǎn)繼電器：范圍	mbar	1×10^-9 … 100
設(shè)定點(diǎn)繼電器：繼電器觸點(diǎn)		n.o., potential free
設(shè)定點(diǎn)繼電器：滯后	% of reading	10
設(shè)定點(diǎn)繼電器：觸點(diǎn)額定值		≤30
DeviceNet™ 電源電壓		+11 … +25
真空計(jì)電源電壓		+20 … +28
DeviceNet™ 連接器		Microstyle, 5-pin
BPG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點(diǎn)）連接器		D-Sub, 15-pin, male
以太網(wǎng)
以太網(wǎng)協(xié)議		protocol specialized for EtherCAT
通訊標(biāo)準(zhǔn)		ETG.5003.1 S (R) V1.1.0: Part 1 Common Device Profile (CDP) ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Part 2080: Specific Device Profile (SDP) Vacuum Pressure Gauge
節(jié)點(diǎn)地址		Explicit Device Identification
物理層		100BASE-Tx (IEEE 802.3)
以太網(wǎng)數(shù)字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information
過(guò)程數(shù)據(jù)		Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
郵箱 (CoE)		SDO requests, responses and information
以太網(wǎng)連接件		RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
電纜		shielded Ethernet CAT5e or higher
電纜長(zhǎng)度	m (ft.)	≤100 (330)

1）除氣期間準(zhǔn)確性降低

2）不可同時(shí)使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和現(xiàn)場(chǎng)總線

3）RS232C 操作 <>

零件號(hào)

BPG402-S
零件號(hào)	明細(xì)
353-570	BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-571	BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-572	BPG402-S 真空計(jì)
353-573	BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-578	BPG402-SL BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-574	BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-575	BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-576	BPG402-SD 型真空計(jì)
353-577	BPG402-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R.
353-590	BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-591	BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-596	BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-597	BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R
354-494	BPG402 感應(yīng)器
354-495	BPG402 Spare measurement system DN40CF-R