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行業(yè)產(chǎn)品

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英??担◤V州)真空儀器有限公司


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SKY CDG025D-X3 4-20mA current loop 0.1 ... 1000 托 / 毫巴過(guò)程壓力真空計(jì)

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更新時(shí)間:2023-04-03 19:32:53瀏覽次數(shù):196次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SKY CDG025D-X3 4-20mA current loop 0.1 ... 1000 托 / 毫巴過(guò)程壓力真空計(jì)

詳細(xì)介紹

好處

  • 全刻度范圍從 100 毫托 … 1000 托
  • 電源接通后快速穩(wěn)定
  • 暴露于大氣壓后快速恢復(fù)
  • 防腐陶瓷傳感器
  • 的長(zhǎng)期信號(hào)穩(wěn)定性
  • 溫度補(bǔ)償
  • 傳感器防污染雙層保護(hù)
  • 一鍵調(diào)零功能
  • 電源范圍廣
  • 2 個(gè)設(shè)定點(diǎn)
  • RS232 接口
  • Remote zero included
  • 符合潔凈室標(biāo)準(zhǔn)
  • Status LED

典型應(yīng)用

  • 用于刻蝕、CVD、PVD、ALD 的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備
  • 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和顯示制造設(shè)備
  • 工業(yè)真空設(shè)備
  • 常規(guī)高精度壓力測(cè)量

規(guī)格

類(lèi)型 1000 Torr / 1100 mbar 500 ... 10 Torr / mbar 1 Torr / mbar 0.25 Torr 0.1 Torr / mbar
精度 (1) % of reading 0.2 0.2 0.2 0.25 0.5
溫度效應(yīng)          
零點(diǎn) percent FS/°C 0.005 0.005 0.015 0.02 0.02
滿(mǎn)量程 % of reading / °C 0.01 0.01 0.01 0.03 0.03
分辨率 percent FS 0.003 0.003 0.003 0.003 0.003
壓力, kPa (absolute) 300 200 200 200 130
反應(yīng)時(shí)間 (2) ms ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100
讀數(shù) percent FS 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
建議的讀數(shù) percent FS 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05
建議的控制壓力 percent FS 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
溫度          
運(yùn)行(環(huán)境) °C +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60
在法蘭處烘烤 (4) °C ≤110 ≤110 ≤110 ≤110 ≤110
貯存 °C –20 … +65 –20 … +65 –20 … +65 –20 … +65 –20 … +65
電源電壓 V (dc) +21 … +27 +21 … +27 +21 … +27 +21 … +27 +21 … +27
76b34a4a-4e29-4c2f-b9f5-f7c162f44101          
Signal range mA 3.8 ... 20.2 3.8 ... 20.2 3.8 ... 20.2 3.8 ... 20.2 3.8 ... 20.2
Measuring range (zero ...FS) mA 4.0 ... 20.0 4.0 ... 20.0 4.0 ... 20.0 4.0 ... 20.0 4.0 ... 20.0
Relationship current-pressure linear linear linear linear linear
Loaded impedance RL          
33b4d39f-dcb0-4da6-b8bb-405bbe6e5695 typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4) typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4) typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4) typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4) typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4)
absolute 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)
absolute 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)
absolute 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)
remote zero input          
High level +21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA +21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA +21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA +21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA +21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA
Low level V (dc) ≤2
Remote zero function          
High level (pulse >1s) auto zero adjust auto zero adjust auto zero adjust auto zero adjust auto zero adjust
Low level measurement operation measurement operation measurement operation measurement operation
保護(hù)等級(jí) IP 30 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30
標(biāo)準(zhǔn)          
CE 合規(guī) EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS
ETL 認(rèn)證 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
電氣連接 D-Sub, 9-pin, male D-Sub, 9-pin, male D-Sub, 9-pin, male D-Sub, 9-pin, male D-Sub, 9-pin, male
Sensor cable          
Without remote zero two-wire cable plus shielding, twisted two-wire cable plus shielding, twisted two-wire cable plus shielding, twisted two-wire cable plus shielding, twisted two-wire cable plus shielding, twisted
With remote zero four-wire cable plus shielding, twisted four-wire cable plus shielding, twisted four-wire cable plus shielding, twisted four-wire cable plus shielding, twisted four-wire cable plus shielding, twisted
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5))
內(nèi)部容積          
內(nèi)部容積 1/2'' 管 cm³ (in.³) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22)
內(nèi)部容積 DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22)
內(nèi)部容積 DN 16 CF-R cm³ (in.³) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22)
內(nèi)部容積 8 VCR® cm³ (in.³) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22)
重量          
重量 1/2'' 管 g 310 310 310 310 310
重量 DN 16 ISO KF g 330 330 330 330 330
重量 DN 16 CF-R g 350 350 350 350 350
重量 8 VCR® g 370 370 370 370 370

(1) 25 °C 環(huán)境溫度時(shí)非線性、滯后、可重復(fù),運(yùn)行 2 小時(shí)后不產(chǎn)生溫度效應(yīng)。

(2) 增加 10 ...90 % FS

(3) 僅適用于壓力控制類(lèi)型

(4) 非運(yùn)行

(5) 18% 鉻、10% 鎳、3% 鉬、69% 鐵

CDG025D-X3 4-20mA Current Loop

數(shù)據(jù)表

手冊(cè)

手冊(cè)

三維步驟文件

關(guān)鍵詞:傳感器

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