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TDH系列三端器件專用探針臺FET測試TFT測試

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地濟南市

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更新時間:2024-09-02 08:17:56瀏覽次數(shù):161次

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產品簡介

產品簡介 :在實際的科研中,由于樣品/晶圓(Wafer)得尺寸越來越大,用于測試的探針臺相當昂貴,我司根據客戶市場應用自主研發(fā)的這款結構小巧,功能實用,成本較低得TDH系列探針臺,在滿足基本測試功能基礎上,去除了非必要得部件,該探針臺系統(tǒng)包含:光學成像部分,光學底座,探針座,四維調......

詳細介紹

產品信息:
  
在實際的科研中,由于樣品/晶圓(Wafer)得尺寸越來越大,用于測試的探針臺相當昂貴,我司根據客戶市場應用自主研發(fā)的這款結構小巧,功能實用,成本較低得TDH系列探針臺,在滿足基本測試功能基礎上,去除了非必要得部件,該探針臺系統(tǒng)包含:光學成像部分,光學底座,探針座,四維調整系統(tǒng),真空吸附系統(tǒng);

  TDH系列探針臺包含有獨立的三個精密探針座,可以配合數(shù)字源表等完成對三端器件的測試,其可以測試的材料有二極管、晶體管、場效應管、晶圓級器件等等,可以完成對其的I/V、c/v、電阻、電容等參數(shù)進行測試。

產品特點:

★結構緊湊,功能實用,質量輕巧,方便移動

★可用于12寸以內樣品測試

★兼容高倍率電子顯微鏡,可360°旋轉和微調升降

★漏電流精度:10pA/50fa(屏蔽箱內)

★精密絲杠/燕尾傳動結構,線性移動,精密位移,無回程差設計

★應用于高等院校/研究所/公司實驗室使用

★1微米以上電極/PAD使用

★模塊化設計,可以根據應用增加和去除相應模塊

產品應用:

◆LD/LED/PD的光強/波長測試(集成我司光電儀器)

◆材料/器件的IV/CV等特性分析測試

◆晶圓分析測試

技術參數(shù)選型:

                                                              規(guī)格/參數(shù)

型號

TDH-4

TDH-6

TDH-8

TDH-12

外形尺寸(LWH)

450×300×355mm

600×450×355mm

600×500×355mm

600×600×355mm

電力需求

220VC,50-60HZ

樣品臺

尺寸

4寸

6寸

8寸

12寸

行程

整體XYZR四維位移,XY行程100mm,Z軸行程13mm,R軸360°旋轉可鎖緊

移動精度

3μm

背電極測試功能

可以引出電極

可以引出電極

可以引出電極

可以引出電極

定制模塊

可定制位移行程和精度

探針調整座

XYZ行程

13mm-13mm-13mm

機械精度

標配3μm(可以升級/1μm)

漏電精度

100fA(配置屏蔽箱)

安裝方式

可調磁力吸附/真空吸附

接口形式

三同軸(Triax)

光學成像

放大倍數(shù)

7-200倍(可升級到720倍)

CCD像素

2000W

中心距離

140mm,升降范圍270mm,總高度350mm

顯示器

12寸顯示器,將3-17mm的樣品放大到整個屏幕(可升級大尺寸顯微鏡)

可選附件

加熱卡盤

高低溫卡盤

鍍金卡盤

隔振支架

積分球測試選件

屏蔽箱

射頻測試附件

導入光源支架

波長單色可調光纖光源(測光電流)

顯微鏡調節(jié)手動/電動調節(jié)裝置

激光切割顯微鏡

轉接頭配件

創(chuàng)譜儀器可以根據客戶應用搭建探針臺,以達到更好使用效果和性價比



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