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濟(jì)南創(chuàng)譜儀器有限公司


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Mini型分析探針臺

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地濟(jì)南市

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更新時間:2024-09-02 08:19:50瀏覽次數(shù):149次

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商鋪產(chǎn)品:240條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品簡介 :在實際的科研生產(chǎn)中,由于樣品/晶圓(Wafer)得尺寸越來越大,用于測試的探針臺相當(dāng)昂貴,我司根據(jù)客戶市場應(yīng)用自主研發(fā)的這款結(jié)構(gòu)小巧,功能實用,成本較低得Mini型探針臺,在滿足基本測試功能基礎(chǔ)上,去除了非必要得部件,該探針臺系統(tǒng)包含:光學(xué)成像部分,光學(xué)底座,探針座,三......

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品信息:

  在實際的科研生產(chǎn)中,由于樣品/晶圓(Wafer)得尺寸越來越大,用于測試的探針臺相當(dāng)昂貴,我司根據(jù)客戶市場應(yīng)用自主研發(fā)的這款結(jié)構(gòu)小巧,功能實用,成本較低得Mini型探針臺,在滿足基本測試功能基礎(chǔ)上,去除了非必要得部件,該探針臺系統(tǒng)包含:光學(xué)成像部分,光學(xué)底座,探針座,三維調(diào)整載片臺(Chuck),真空吸附系統(tǒng);

主要技術(shù)指標(biāo):

★結(jié)構(gòu)緊湊,功能實用,質(zhì)量輕巧,方便移動

★可用于6寸以內(nèi)樣品測試

★兼容高倍率電子顯微鏡,可360°旋轉(zhuǎn)和微調(diào)升降

★漏電流精度:10pA/100fa(屏蔽箱內(nèi))

★精密絲杠/燕尾傳動結(jié)構(gòu),線性移動,精密位移,無回程差設(shè)計

★應(yīng)用于高等院校/研究所/公司實驗室使用

★1微米以上電極/PAD使用

★模塊化設(shè)計,可以根據(jù)應(yīng)用增加和去除相應(yīng)模塊

產(chǎn)品應(yīng)用:

◆LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長測試(集成我司光電儀器)

◆材料/器件的IV/CV等特性測試

◆晶圓分析測試

技術(shù)參數(shù):

                                                              規(guī)格/參數(shù)

型號

Mini-4A

Mini-6A

Mini-4B

Mini-6B

外形尺寸(LWH)

380×260×355mm

450×300×355mm

380×260×355mm

450×300×355mm

電力需求

220VC,50-60HZ

樣品臺

尺寸

4寸

6寸

4寸

6寸

行程

三維調(diào)整,XY行程50mm,Z軸行程60mm

整體三維調(diào)整,XY行程100mm,Z軸行程13mm

移動精度

10μm

5μm

背電極測試功能

可以引出電極

可以引出電極

可以引出電極

可以引出電極

定制模塊

可定制位移行程和精度

探針調(diào)整座

XYZ行程

13mm-13mm-13mm

機(jī)械精度

標(biāo)配10μm,可以升級5μm/3μm/1μm

標(biāo)配3μm,可以升級3μm/1μm

漏電精度

10pA-100fA(配置屏蔽箱)

安裝方式

直接磁力吸附/可調(diào)磁力吸附/真空吸附

接口形式

香蕉插頭/鱷魚夾/同軸BNC/三同軸BNC

光學(xué)成像

放大倍數(shù)

7-200倍(可升級到720倍)

CCD像素

2000W

中心距離

140mm,升降范圍270mm,總高度350mm

顯示器

12寸顯示器,將3-17mm的樣品放大到整個屏幕(可升級大尺寸顯微鏡)

可選附件

加熱卡盤

高低溫卡盤

鍍金卡盤

隔振支架

積分球測試選件

屏蔽箱

射頻測試附件

導(dǎo)入光源支架

波長單色可調(diào)光纖光源(測光電流)

顯微鏡調(diào)節(jié)手動/電動調(diào)節(jié)裝置

激光切割顯微鏡

轉(zhuǎn)接頭配件

創(chuàng)譜儀器可以根據(jù)客戶應(yīng)用搭建探針臺,以達(dá)到更好使用效果和性價比







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