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濟(jì)南創(chuàng)譜儀器有限公司
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| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地濟(jì)南市
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更新時(shí)間：2024-09-03 08:29:13瀏覽次數(shù)：152次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線產(chǎn)品簡(jiǎn)介 ：產(chǎn)品名稱：真空加熱探針臺(tái)產(chǎn)品型號(hào)：CPPSSZ32真空度：優(yōu)于5Pa加熱溫度：300℃
名稱：真空加熱探針臺(tái)
型號(hào)：CPPSSZ32
外形尺寸：450×600×1200mm（加整體焊接支架）
產(chǎn)品應(yīng)用：晶圓/半導(dǎo)體材料氣敏測(cè)試，IV,CV,PIV測(cè)試，高溫?zé)o氧化測(cè)試等
適用于樣品尺寸：低于4英寸
真空獲得方式：機(jī)械泵抽真空
樣品盤加熱溫度：300℃，溫控精度±1℃
測(cè)試漏電流精度：100fA
探針調(diào)節(jié)精度：10微米（也可選擇5微米，3微米，1微米精度）
| CPPSSZ系列真空加熱探針臺(tái)配置單 | |
真 空 腔 | 尺寸320×230×210mm，材質(zhì)優(yōu)質(zhì)鋁合金，內(nèi)表面電解拋光，外表面陽極氧化本色 |
| 上蓋40直徑石英觀察窗，可開啟，下表面可以和光學(xué)平臺(tái)直接連接 | |
| 配有多個(gè)接口，2個(gè)KF16,4個(gè)KF25,一個(gè)備用充氣口，一個(gè)旋轉(zhuǎn)控制閥門，一個(gè)放氣閥門口 | |
| 溫控樣品盤 | 尺寸4英寸，鋁合金材質(zhì)，平面度5微米 |
| 溫控儀采用日本島電溫控器，顯示精度0.1℃，溫控精度±1℃，可達(dá)300℃ | |
| 探針座 | 10微米三維調(diào)節(jié)，可調(diào)磁力底座，萬向調(diào)節(jié)夾具，配備美國(guó)進(jìn)口愛默生線和進(jìn)口三同軸接口 |
| 真空獲得以及測(cè)量系統(tǒng) | 采用成都睿寶真空計(jì)，安裝1個(gè)全金屬電阻規(guī) |
| 真空泵選擇合資機(jī)械泵，抽速6L/秒 | |
| 顯微鏡系統(tǒng) | 放大倍數(shù)7-180倍無級(jí)調(diào)節(jié)，500萬像素，搭配8寸顯示器，匹配萬向調(diào)節(jié)架和升降臺(tái)，可以無級(jí)調(diào)節(jié) |
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