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ULVAC VPC系列真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)

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更新時(shí)間:2023-11-27 11:54:40瀏覽次數(shù):150次

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產(chǎn)品簡介

ULVACVPC系列真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)ULVACVPC-1100真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)此款設(shè)備在管架上緊密安裝了油擴(kuò)散泵、油旋片真空泵、皮拉尼真空計(jì)、真空管、電力系統(tǒng)、壓力測量口等必要機(jī)器,并且配備了鐘罩升降裝置,是電阻加熱式高速型真空蒸發(fā)裝置

詳細(xì)介紹

ULVAC VPC系列真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)

ULVAC VPC-1100真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)

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此款設(shè)備在管架上緊密安裝了油擴(kuò)散泵、油旋片真空泵、皮拉尼真空計(jì)、真空管、電力系統(tǒng)、壓力測量口等必要機(jī)器,并且配備了鐘罩升降裝置,是電阻加熱式高速型真空蒸發(fā)裝置。使用與保養(yǎng)檢修很簡單,用于2-8英寸基板尺寸的基礎(chǔ)研究開發(fā)實(shí)驗(yàn)等工作。


產(chǎn)品特點(diǎn)

 ● 玻璃鐘罩,內(nèi)部易于查看,并且可操作性好。

 ● 可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。

 ● 通過增加蒸發(fā)電源和電極,可以進(jìn)行同時(shí)鍍膜及多層膜。

 ● 如變改EB式樣,可進(jìn)行高熔點(diǎn)材料的鍍膜。

 ● 帶腳輪,易于移動(dòng)。 

 ● 使用調(diào)節(jié)器,可以確保設(shè)置的安全性。

 ● 極限真空度:4.0×10-4 Pa

 ● 基板尺寸50-200mm

 ● 真空腔體采用玻璃鐘罩 (直徑390mm ×350mm(H))

 ● 三點(diǎn)式電極結(jié)構(gòu)

 ● 主泵采用油擴(kuò)散泵(水冷) 1100 L/sec

 ● 外觀尺寸:1235(W) × 836(L) × 2155(H) mm



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